Gebraucht KLA / TENCOR AIT UV+ #9228106 zu verkaufen

KLA / TENCOR AIT UV+
ID: 9228106
Wafergröße: 12"
Darkfield inspection system, 12".
KLA/TENCOR AIT UV + ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die ultraviolette Strahlung verwendet, um Muster auf der Oberfläche eines Wafers genau zu messen. Dieses System bietet eine beispiellose Genauigkeit mit einem Blickfeld, das etwa das 40-fache der eines optischen Mikroskops beträgt. Durch sehr präzise Messungen ist die Einheit in der Lage, Unvollkommenheiten in Strukturen zu erkennen, die zu klein sind, um von optischen Mikroskopen gesehen zu werden. Im Zentrum der Maschine steht das fortschrittliche optische Design. Dieses Design verwendet eine patentierte optische Technik namens Ball Lens Mapping, die eine sehr hohe Auflösung der UV-Bildgebung ermöglicht. Das Werkzeug verwendet eine Reihe von Linsen und Spiegeln, um Licht zu sammeln und zu fokussieren, das vom Wafer emittiert wird, und teilt dieses Licht dann in drei Farbbänder (UV, sichtbares Blau und sichtbares Grün). Eine digitale CCD-Kamera erfasst ein Bild in jedem der Farbbänder getrennt, um ein detailliertes Bild der Probe zu erzeugen. KLA AIT UV + kann auch eine Vielzahl von Metrologiefunktionen ausführen. Es ist mit einem Kalibrierarm ausgestattet, der die Breite und den Abstand verschiedener Strukturen auf dem Wafer messen kann. Es hat auch eine automatische Funktion Absaugung Motor, die Funktionen auf dem Wafer bis zu messen 0,01 Mikrometer in der Auflösung. Mit diesem automatisierten Asset können Anwender Oberflächenfehler im Produktionsprozess schnell erkennen, überprüfen und korrigieren. Das Modell TENCOR AIT UV++ ist extrem schnell und effizient. Seine unübertroffene Präzision und Echtzeit-Analysefunktionen ermöglichen eine schnelle und genaue Charakterisierung von Strukturen auf der Oberfläche eines Wafers. Mit seinem automatisierten Extraktionsmotor für Funktionen können Benutzer Oberflächen schnell und präzise inspizieren, was eine maximale Genauigkeit und einen maximalen Durchsatz ermöglicht. Das Gerät ist einfach zu bedienen und bietet die Flexibilität und Funktionalität, die erforderlich ist, um den sich ändernden Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht zu werden.
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