Gebraucht KLA / TENCOR AIT UV #9257792 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9257792
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2003
Dark field wafer particle inspection system, 8"
(2) Open cassette wafer loaders
SECS-GEM
High resolution image grab
HLAT
IADC
Patch grab
Real time classification
RTA
Signal tower
Spot size: 2.2 UM
Spot size: 3.5 UM
Spot size: 5 UM
Wafer shape: SNNF (Semi Notch No Flat)
(2) Cassette ports
KM-803P-K Wafer cassette 8" PP
No SMIF Interface
Advanced patterned wafer inspection system
Laser: UV Laser for 90 mW (364 nm)
Microscope review objectives: 50x, 100x, 150x
Computer
Image computer
Keyboard
Floppy Disk Drive (FDD)
Wafer handler: Dual open cassette loader, 8"
Robot
Prealigner
Includes:
Pillar module
Blower unit
No PSL 0.494 um wafer
No caltile wafer
CE Marked
2003 vintage.
KLA/TENCOR AIT UV ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die entwickelt wurde, um Fehler in Halbleiterbauelementen schnell und genau zu diagnostizieren. Es inspiziert die Oberfläche von Würfeln und Matrizen auf Halbleiterscheiben, um mögliche Defekte wie Kratzer, Gruben, Chips und Hohlräume aufzudecken und zu analysieren. KLA AIT UV nutzt UV-Lithographie und optische Schalttechnik, um die Oberfläche der zu inspizierenden Gerätebereiche zu lokalisieren und zu inspizieren. Die hochauflösende Objektivlinse des Systems ist in der Lage, die Gerätebereiche zu untersuchen, Hohlräume, Risse, Defekte und andere Auffälligkeiten zu erkennen. Die hochauflösende Bildverarbeitungsfunktion bietet dem Anwender eine leistungsstarke Reihe von Bildverarbeitungswerkzeugen zur Überprüfung und Analyse der Ergebnisse. TENCOR AIT-UV kann Geräte in einer Vielzahl von Formaten inspizieren, einschließlich blanker Werkzeuge, verpackter Komponenten, fasergemusterter Substrate und gehärteter und ungehärteter Displays. Es ist in der Lage, kontaktlose Röntgenaufnahmen durchzuführen, eine verzerrungsfreie Vergrößerung anzubieten und Rückmeldungen auf feine Liniengrößen, Transistorgrößen und einige andere Geräteparameter zu liefern. Darüber hinaus wurde die fortschrittliche Musteranpassungstechnologie von KLA AIT-UV entwickelt, um verschiedene Elemente des zu untersuchenden Geräts schnell zu überprüfen und Bilder zu validieren. Diese Daten werden dann verwendet, um mögliche Abweichungen zwischen dem zu untersuchenden Gerät und dem Basisplanentwurf zu identifizieren. KLA/TENCOR AIT-UV bietet auch die Möglichkeit, eine Vielzahl von Datenanalysetests durchzuführen. Diese Tests können verwendet werden, um Fehler zu diagnostizieren und Ertragsprobleme zu analysieren, wie Down-Die-Ausbeute und Produktqualität. Sein automatisiertes System kann mehrere Tests auf demselben Wafer in einem Durchgang durchführen, was Zeit und Geld spart. Darüber hinaus bietet es erweiterte messtechnische Fähigkeiten, die zur Auswertung von fab-Ertragsdaten verwendet werden können. AIT UV verfügt über eine benutzerfreundliche Softwareeinheit, die den Test- und Messprozess vereinfacht. Die erweiterte Benutzeroberfläche ermöglicht es Benutzern, Rezepte zu erstellen und zu speichern, mehrere Teststufen zu programmieren und Testsitzungen zu beenden, wenn dies erforderlich ist. Dies macht die Maschine extrem flexibel und schnell - Anwender können Tests mit minimalem Aufwand schnell konfigurieren und durchführen. Insgesamt ist TENCOR AIT UV ein vielseitiges und leistungsstarkes Wafer-Test- und Messtechnik-Tool, das Anwendern eine effiziente und genaue Methode zur Lokalisierung und Diagnose von Defekten in Halbleiterbauelementen bietet. Mit seiner hochauflösenden Bildgebungsfähigkeit und der innovativen Musteranpassungstechnologie ist das Asset ideal für die schnelle Inspektion und Analyse von hochpräzisen Gerätebereichen.
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