Gebraucht KLA / TENCOR AIT UV #9285844 zu verkaufen

KLA/TENCOR AIT UV ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die die elektrischen Eigenschaften von Wafern auf nanoskaliger Ebene misst. Es bietet automatisierte, zerstörungsfreie Messungen der elektrischen Eigenschaften von Wafern wie Durchbruchspannung, Widerstand und Kapazität sowie eine vollständige Palette von Halbleitermesstechnik-Fähigkeiten mit der gleichen hohen Genauigkeit. KLA AIT UV System besteht aus mehreren Komponenten. Ein ultravioletter Kamerasensor dient zur Erkennung von Halbleiterstrukturen und ermöglicht die automatisierte Betrachtung und Prüfung einzelner Strukturen. Die Kamera verwendet Filter, um verschiedene UV-Wellenlängen zu detektieren und bietet genaue und wiederholbare Messungen. Die Einheit enthält eine Impuls- und Vorspannungssteuereinheit, die verwendet wird, um einen Testimpuls zum Wafer zu erzeugen. Diese gepulste Stromsondenstruktur (PCPS) ist in der Lage, Halbleitereigenschaften, einschließlich Durchbruchspannung und Ladungssammlung, während eines sich wiederholenden Zyklus genau zu erfassen und zu messen. TENCOR AIT-UV arbeitet in einer Reihe von Bildmodi, einschließlich Vollbereichsbildgebung, Teilbereichsbildgebung, Linienabtastung und Bildnaht. Jeder Bildmodus hat je nach Anwendung eigene Scans. Beispielsweise dient die Teilflächenbildgebung zur Messung der Leistung eines einzelnen Gerätes auf dem Wafer. Die Zeilenabtastung dient zur Messung der elektrischen Eigenschaften von Wafern mit mehreren Geräteelementen, wie Chipsätzen. Bildnähte werden für größere Waferstrukturen verwendet, wo das Bild in Sub-Scans aufgeteilt wird, um mehr Details zu erzielen. Die grafische Benutzeroberfläche (GUI) der Maschine bietet Echtzeit-Einblicke in Daten und wie sie von Wafer-Testbedingungen beeinflusst wird. Die Analyse wird durch die mehrkanaligen Verarbeitungsfunktionen des Tools beschleunigt, wodurch der Benutzer Bilder überprüfen und Analysestrategien bearbeiten kann, während er weiterhin Messungen auf mehreren Kanälen durchführt. Die Funktion Advanced Intelligent Test (AIT) ermöglicht die automatisierte Analyse von Testergebnissen und Empfehlungen zur Anpassung von Einstellungen oder Versuchsbedingungen. Die Ergebnisse können nahtlos gespeichert und für die weitere Forschung abgebaut werden. AIT UV ist ein leistungsfähiges Asset, das verwendet wird, um eine genaue elektrische Messung von Waferstrukturen sicherzustellen. Seine fortschrittlichen Funktionen gewährleisten eine genaue Bildgebung, während sein benutzerzentriertes Design genaue, wiederholbare und zuverlässige Daten liefert. Es ist ein ideales Test- und Messtechnikmodell für die Halbleiterforschung, -konstruktion und -herstellung.