Gebraucht KLA / TENCOR AIT XP #9047332 zu verkaufen
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ID: 9047332
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1999
Wafer inspection system, 8", 1999 vintage.
KLA/TENCOR AIT XP ist eine Weltklasse-Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die hochzuverlässige und präzise Messungen der Wafergeometrie und Topographie ermöglicht. Das System ist eine integrierte Einheit, die Testgenauigkeit, Testgeschwindigkeit und Programmierbarkeit kombiniert. Es verfügt über fortschrittliche Technologien wie automatisiertes Sondenladen, selbstüberwachende Hardware und fortschrittliche Algorithmen, um das höchste Leistungsniveau zu erreichen. Mit der neuesten integrierten Maschinenarchitektur umfasst KLA AIT XP ein hochauflösendes Optikwerkzeug für die Litho-Inspektion, ein Rastertunnelmikroskop (STM) und ein Rasterelektronenmikroskop (SEM). Diese integrierte Asset-Architektur bietet eine einzige Plattform für Messtechnik und Tests auf Wafern. Die verbesserte Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Messungen des Modells im Vergleich zu anderen auf dem Markt verfügbaren Systemen sind wesentliche Vorteile. Die integrierte TENCOR AIT-XP ist eine modulare System-on-Chip (SOC) basierte Einheit, die ein Laserdioden-Dioden-Array für verbesserte Genauigkeit, Signal-Rausch-Verhältnis und Durchsatz enthält. Dieses Gerät verfügt außerdem über einen hochpräzisen Messmotor, der in die Systemarchitektur integriert ist, um schnelle, zuverlässige und wiederholbare Messungen bereitzustellen. Die optionale Funktion der automatischen Waferausrichtung ermöglicht es dem Gerät, Fehlstellungen mit höchster Präzision zu erkennen und zu korrigieren. Dies hilft, zuverlässige und wiederholbare Messungen zu liefern, während Zeit gespart und Fehler durch menschliches Eingreifen reduziert werden. Die umfassende Software von KLA AIT-XP bietet Anwendern ein hohes Maß an Flexibilität und Benutzerfreundlichkeit. Dazu gehört der vorkonfigurierte Messsoftware-Setup und der On-Demand-Setup einer Reihe von Anwendungen von der Wafer-Messtechnik bis zur Testmustergenerierung. Die Maschine verfügt über eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI) mit Echtzeit-Steuerungs- und Datenanzeigefunktionen. Die GUI umfasst auch Anpassungs- und Analysefunktionen für fortgeschrittene Benutzer. Das Tool umfasst eine leistungsstarke Datenerfassung und Speicherressourcen, die helfen, Genauigkeit und Datensicherheit für jeden Test und Prozess zu gewährleisten. Dazu gehören Datenerfassungshandhabung, Fehlerdatenbankverwaltung und integrierte Rückverfolgbarkeit. KLA/TENCOR AIT-XP bietet eine einzige Lösung für Anwendungen wie Wafermesstechnik, Testmustergenerierung, Fehlererkennung und Review & Analyse. Es wurde entwickelt, um mehrere Test- und Messanforderungen zu erfüllen und dennoch genaue, schnelle, zuverlässige und wiederholbare Messungen zu liefern.
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