Gebraucht KLA / TENCOR AIT XP+ #9087846 zu verkaufen
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ID: 9087846
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Patterned wafer inspection system, 8"
Handler: (2) SMIF Ports type: Asyst – INX2200
Robot: ATM-407B-2-S-CE-S293 (Dual Puck) / Brooks (PRI)
GEM / SECS HSMS SFTWFR
SW (OS): ms-Windows NT 4.0 SP6
SW (APP): 6.2 Build 40 SP14
180-264 V, 60 A, 50/60Hz, EU (4-Pole, 5-Wire)
CE Marked
2000 vintage.
KLA/TENCOR AIT XP + ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die die höchste Prozesskontrolle und Asset-Nutzung für Maskenläden, Wafer-Fabs und andere Halbleitergießereien ermöglicht. Es kombiniert Multiple Energy Layer Messtechnik und großflächige Bildgebung, um schnelle und wiederholbare Messungen komplexer Geräteeigenschaften zu ermöglichen. Das System nutzt modernste Rechentechnologien wie Deep Learning und Künstliche Intelligenz, um Partikel- und Oberflächeninspektionen zu eliminieren und Ausfallzeiten zu reduzieren. Die Einheit ist auch in der Lage, mehrere Wafer zu einem einzigen Zeitpunkt zu verarbeiten. Die Maschine nutzt die 6-schichtige Messtechnik, um verschiedene Aspekte des Gerätemerkmals, wie Dicke, Geometrie und Kontur, mit einer beeindruckenden Genauigkeit von bis zu 14nm zu messen. Es verfügt über eine Vielzahl von Funktionen und Fähigkeiten, um präzise, wiederholbare Messungen und zuverlässige Prozesskontrolle zu gewährleisten. Das Tool ist sowohl für eigenständige als auch für Inline-Anwendungen konzipiert und ist in der Lage, die Inline-Prozesssteuerung und -überwachung sowohl durch kontinuierliche Überwachung und Ereignissteuerung als auch die Kantensteuerung zu ermöglichen. Zusätzliche Funktionen wie Prozesssteuerung und Data Mining bieten eine genauere Kontrolle der Prozessparameter und ermöglichen verbesserte Prozesserträge. Darüber hinaus ist das Asset in der Lage, eine automatische Fehlerklassifizierung und fehlerbasierte Prozessvalidierung zu ermöglichen, bis zu dreimal schneller als frühere Modelle. Seine Fähigkeit, eingehende Materialfehler zu erkennen und zu klassifizieren, bietet effizientere Prozesse für Wafertests und Messtechnik. Schließlich verfügt das Modell auch über eine Reihe von Software- und Kommunikationsmöglichkeiten. Dazu gehören zwei Ethernet-Ports und zwei RS-232-Ports für die externe Kommunikation sowie verfügbare Software zur Datenerfassung, -analyse und -berichterstattung. Insgesamt ist die KLA AIT XP + eine fortschrittliche, leistungsstarke und zuverlässige Ausrüstung, die die anspruchsvollsten Anforderungen der Branche an Wafertests und Messtechnik erfüllt. Es verfügt über eine Reihe von Funktionen und Fähigkeiten, um präzise, wiederholbare Messungen und zuverlässige Prozesskontrolle zu gewährleisten. Es umfasst auch umfassende Software-, Kommunikations- und Netzwerkoptionen, um eine reibungslose Nutzung des Systems in nahezu jeder Gießereiumgebung zu gewährleisten
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