Gebraucht KLA / TENCOR AIT XP #9122532 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9122532
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Wafer inspection system, 8"
Part number: 564249
2000 vintage.
KLA/TENCOR AIT XP ist eine hochentwickelte Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um zuverlässige und genaue messtechnische Daten zur Prozess- und Produktverbesserung bereitzustellen. Kern der KLA AIT XP ist ein Wafer-Bühnensystem mit integrierter RockSolid™autofocus und Ausrichtungsfähigkeit, die Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Messungen gewährleistet. Eine zweiachsige Z-Scanbewegung ermöglicht weiche Bewegungen beim Scannen und beseitigt Fehlstellungen und Verzerrungen. Diese fortschrittliche Technologie bietet auch Flexibilität mit optionalen Stufen für erweiterte Anforderungen wie hohe Temperaturen, niedrige Temperaturen und kryogene Anwendungen. Die Wafer-Inspektions- und Messtechnik-Einheit ist mit einer fortschrittlichen Inspektionsmaschine ausgestattet, die eine ultraschnelle spektrale Bildgebungstechnologie einschließlich fortschrittlicher Beleuchtungstechniken, strukturierter Beleuchtung und anderer Techniken zur Erkennung von Defekten umfasst. Dieses Tool wird durch Hochgeschwindigkeits-fortgeschrittene Bildanalyse-Algorithmen und robuste Nachbearbeitung ergänzt, um automatisch ein Spektrum von Fehlern für Hochgenauigkeitstests zu messen. Die SpectraSouce™ Software Suite ermöglicht in Echtzeit nanoskalige Messungen von Defekten und bietet eine umfassende Suite für fortschrittliche Prozesskontrolle. Die fortschrittliche Metrologie beinhaltet auch eine ganze Reihe von Technologien für Elektronenstrahl, kritische Dimension (CD), Overlay und andere messtechnische Messungen. Dazu gehören Elektronenstrahlmechanismen, Bühnenkonfigurationen und ein Design, das schnelles Scannen mit Präzision und geringem Rauschen unterstützt. Die hochmoderne Software Suite bietet umfassende Messungen wie CD, Overlay, Linienbreite, Oberflächenrauhigkeit und Profilmessungen mit fortschrittlichen algorithmischen Nachbearbeitungsfunktionen. Für die Lithographie und fortschrittliche Prozesssteuerung ist das TENCOR AIT-XP-Modell weiter mit einer fortschrittlichen Off-Axis-Bildverarbeitungsausrüstung ausgestattet, die eine Reihe von Bildverarbeitungsbedingungen und Blendenkonfigurationen unterstützt. Darüber hinaus integriert das System erstklassige Datenanalysefunktionen und intuitive Mustererkennungsverfahren sowie anpassbare Reporting-Funktionen. Um das Anwendervertrauen zu gewährleisten, wird das AIT-XP-Gerät streng nach strengen Qualitäts- und Zuverlässigkeitsstandards geprüft und überprüft. Die Maschine wird weiterhin mit einem umfassenden technischen Support für Installation und Einsatz unterstützt. Dadurch können Anwender einen verbesserten Durchsatz und Ertrag, eine Reduzierung der Schrott- und Garantiekosten sowie eine optimierte Prozesskontrolle erwarten.
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