Gebraucht KLA / TENCOR AIT XP #9253785 zu verkaufen

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ID: 9253785
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Inspection system, parts machine, 8" P/N: 200DSF2P PRE-200B-CE Pre-aligner ABM-407B-2-S-CE-S293 Robot ATM-100 Controller Dual finger end-effecter (Narrow type) Cassette interface: (2) ASYST LPT-2200 Indexers (SMIF), 8" P/N: 9700-6197-05 P/N: 9700-3260-05 CE Marked 2000 vintage.
KLA/TENCOR AIT XP ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um eine qualitativ hochwertige Produktion von Halbleiterbauelementen sicherzustellen. Das System wurde entwickelt, um die Waferqualität zu überprüfen und zu überprüfen, indem es physikalische elektrische Eigenschaften wie Dicke, Dotierstoffkonzentration, Widerstand, Filmgleichförmigkeit, Kornstruktur, Elektromigration, Defekte, strukturierte Strukturen und Stanzschäden automatisch prüft und misst. Der Kern der Einheit besteht aus optischen Mikroskopen, automatisierten Stufen und Roboter-Handlern. Die Mikroskope enthalten die anspruchsvolle Optik, die lange Arbeitsstrecke und die erweiterten Arbeitsabstandsziele. Die automatisierten Stufen sind in der Lage, das Werkzeug relativ zum Wafer zu bewegen und die Steuerung sowohl der Stufenkoordinaten als auch der Wafer-Neigung zu ermöglichen. Schließlich werden die Roboter-Handler verwendet, um Wafer in die Maschine aufzunehmen und zu platzieren und auch Lichtquellen zu wechseln/zu laden. Darüber hinaus umfasst KLA AIT XP auch eine Vollbildanalysesoftware, die eine Analyse automatisierter Tests und Messungen sowie eine etikettenfreie Fehlererkennung, Farbfilterdefekterkennung, Overlay-Messungen und -Analysen sowie aktive Stealth-Funktionen bietet. Diese Software wurde entwickelt, um den Durchsatz und die Genauigkeit durch die Nutzung der Geschwindigkeit und Genauigkeit der Hardware zu maximieren. Darüber hinaus bietet das Tool dem Anwender eine umfassende Palette von Berichts- und Datenvisualisierungstools. Diese Tools ermöglichen den Vergleich von Testergebnissen zur Identifizierung von Trends und exportieren detaillierte Informationen für Wafer-Kontrolldiagramme, Fehleranalysen oder andere Anwendungen. Zusammenfassend ist TENCOR AIT-XP die umfassende Komponente für Wafertests und Messtechnik, die durch eine Reihe automatisierter Test-, Bildgebungs- und Analysetools ein hohes Maß an Genauigkeit und Qualitätssicherung bietet. Dieses Modell ist sehr vielseitig und kann verwendet werden, um strukturierte Strukturen, Defekte, Filmgleichförmigkeit, Widerstand, Dotierstoffkonzentration und Stempelschäden zu untersuchen. Damit ist TENCOR AIT XP die perfekte Ausrüstung, um eine qualitativ hochwertige Produktion von Halbleiterbauelementen zu gewährleisten.
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