Gebraucht KLA / TENCOR AIT #149932 zu verkaufen

KLA/TENCOR AIT (Advanced Inspection Technologies) ist eine umfassende, integrierte Wafer-Prüf- und Messtechnik, die den kritischen Anforderungen moderner Halbleiteranwendungen gerecht wird. Das System kombiniert die technologisch fortschrittlichsten Techniken und Methoden, um eine breite Palette von Wafertypen, Geometrie und Eigenschaften zu bewerten, zu messen und zu charakterisieren. Das Gerät wird mit modernster Optik, Bildverarbeitung und Computervision kombiniert mit physikalischer Analyse- und Messtechnik-Software gebaut. Zu den Hauptelementen von KLA AIT gehören eine hochauflösende Kamera, Bildverarbeitungswerkzeuge, ein Rasterelektronenmikroskop (SEM), eine Bildaufnahme- und -rekonstruktionsmaschine, ein Photomasken-Retikel, ein Laser und ein 3D-Profiler. Die hochauflösende Kamera erkennt winzige Änderungen in Form und Topologie des Wafers, um subtile Unvollkommenheiten zu identifizieren, die andernfalls übersehen werden können. Darüber hinaus kombiniert es dies mit Bildgebungs- und Bewegungssteuerungssoftware, um höchste Genauigkeit und präzise Waferausrichtung zu gewährleisten. Das SEM kann Bilder der Waferoberfläche erzeugen und eine Vielzahl von Fehlern erkennen, die mit der Kamera nicht erkennbar wären. Die genaue Analyse der auf dem Wafer vorhandenen Merkmale wie Feuchtigkeit und Defekte kann Probleme frühzeitig im Produktionsprozess erkennen. Das Bildaufnahme- und Rekonstruktionswerkzeug ermöglicht eine präzise 3D-Inspektion des Wafers. Merkmale wie Oberflächenmorphologie und Defekte können auf Größe und Form analysiert werden. Diese Informationen können mit den Kamerabildern und SEM-Daten kombiniert werden, um Fehler am Wafer genau zu identifizieren. Das Photomasken-Retikel ermöglicht eine detaillierte Auswertung der Ausrichtung der Waferkomponenten. Der Rasterlaser wird verwendet, um den Wafer mit Mustern zu lasern, und der dreidimensionale Profiler liefert allgemeine Form- und Dimensionsinformationen. Schließlich kann TENCOR AIT mit anderen messtechnischen Instrumenten wie Atomkraftmikroskopen (AFMs) und Scanning White-Light Interferometers (SWLI) integriert werden, um eine umfassende Palette von Wafertest- und messtechnischen Fähigkeiten bereitzustellen. Zusammenfassend ist AIT ein fortschrittliches Wafer-Test- und Metrologie-Asset, das die neueste Technologie und anspruchsvolle Software kombiniert, um eine Vielzahl von Wafertypen, Geometrien und Funktionen zu erkennen und zu charakterisieren. Durch die Verwendung modernster Komponenten und die Integration mit zusätzlichen messtechnischen Instrumenten bietet es Halbleiterherstellern ein umfassendes, genaues und präzises Paket an Wafertest- und Analysefunktionen.