Gebraucht KLA / TENCOR AIT #9252969 zu verkaufen
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ID: 9252969
Inspection system
P/N: 505277
BROOKS AUTOMATION ESC 212 Controller
TQC Process.
KLA/TENCOR AIT ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die hauptsächlich in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Es kombiniert eine Reihe von automatisierten optischen Inspektionssystemen (AOI) und fortschrittlicher Metrologie-Hardware und -Software, um automatisierte Wafer-Scan-, Analyse- und Messfunktionen mit hoher Geschwindigkeit bereitzustellen. Das System ist für die Prüfung und Messtechnik von Wafern mit hohem Volumen konzipiert, was einen verbesserten Durchsatz und eine schnellere Markteinführung ermöglicht. Die KLA AIT-Einheit umfasst eine Kombination aus automatisierten Testgeräten (ATE) und einer integrierten optischen Messmaschine (OMS), um umfassende Test- und Messtechnikfunktionen bereitzustellen. Die optische Ressource des Werkzeugs wird verwendet, um Fehler zu finden und genau zu lokalisieren, sowie jede Art von Transistor zu messen, einschließlich hoch skalierter kleiner Geometriegeräte. Das OMS verfügt über eine hochauflösende Kamera, die eine Auflösung von 2 µm über den Wafer sowie eine Reihe von optischen Inspektions- und Messtechnikwerkzeugen bereitstellen kann. TENCOR AIT Modell verfügt auch über ein Muster Control Equipment (PCS) für automatisierte Tests und Messtechnik, bietet Echtzeit-Defekt, Form, Größe und Farbdaten. Die adaptive Ansprechtechnologie des PCS ermöglicht eine genauere Ausrichtung und Extraktion von Funktionen, was zu deutlich erhöhten Erträgen führt. Darüber hinaus verfügt das System über eine Wafer-Tracking-Einheit (WTS), die OMS, PCS und andere Technologien integriert, um die Waferbewegung zu überwachen und Verschmutzungen zu verhindern. Die Software der AIT-Maschine verfügt über eine Reihe benutzerfreundlicher grafischer Tools, die einen schnellen und einfachen Zugriff auf die Test- und Messtechnikfunktionen des Tools ermöglichen. Es verfügt über integrierte Datenanalysetools, um schnell Ergebnisse anzuzeigen, sowie eine Reihe von Musteridentifizierungstools, um die Fehlerauswahl und -analyse zu erleichtern. Das Asset umfasst auch eine Reihe von Wafer-Analysefunktionen für die Diagnose, Prozesssteuerung und Prozessoptimierung. Kurz gesagt, KLA/TENCOR AIT ist ein umfassendes Wafer-Test- und Metrologiemodell, das entwickelt wurde, um den Durchsatz zu verbessern, die Time-to-Market zu reduzieren und die Erträge zu maximieren. Es bietet eine integrierte AOI-Ausrüstung mit fortschrittlicher Metrologie-Hardware und -Software, die ein automatisiertes Testen, Analysieren und Messen von Transistoren im Nanoskalibereich ermöglicht. Mit seinen benutzerfreundlichen Tools und integrierten Datenanalyse-Funktionen bietet das KLA AIT-System eine effiziente und kostengünstige Option für die Halbleiterherstellung.
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