Gebraucht KLA / TENCOR AIT #9256108 zu verkaufen
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KLA/TENCOR AIT ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die Prüf- und Inspektionstechnologien für die hochproduktive Halbleiterwaferanalyse integriert. Das System wurde entwickelt, um branchenführende Testgeschwindigkeiten und Präzisionsraummessungen für 2D- und 3D-Architekturen zu ermöglichen. KLA AIT vereint anspruchsvolle Anwendungen und Funktionen und bietet automatisierte Ausrichtung, Testerkennung, Fehlererkennung und -klassifizierung, hochpräzise Messtechnik und Korrelationsanalyse auf einer einzigen Plattform. Die Wafer-Testeinheit besteht aus einem einzigen Modul, das mehrere wichtige Merkmale wie Offline-Kalibrierung, High-Speed und Large-Field-of-View-Scanning, zuverlässige automatische Ausrichtung, statistische Prozesssteuerung, Wafer-zu-Wafer-Korrelation und In-situ-Tests kombiniert. Die Maschine ist in der Lage, großformatige Wafer bis 300 mm Durchmesser zu handhaben, mit überlegener Fehlererkennungsgenauigkeit für eine verbesserte Ausbeute. Die fortschrittliche Testtechnologie bietet sowohl Fehlerinspektionen mit hohem Durchsatz als auch simultane Messungen mit mehreren Sensoren. TENCOR AIT-Tool verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche für einfache Bedienung und verfügt über leistungsstarke Hardware für zuverlässige und robuste Testleistung. Das Asset nutzt ein hochpräzises optisches Ausrichtungsmodell für kürzere Belichtungszeiten und automatisierte Ausrichtung von Wafern über verschiedene Sensortechnologien hinweg. Diese Funktion gewährleistet gleichbleibende Genauigkeit und wiederholbare Messungen für alle Testkonfigurationen. Darüber hinaus ist das Gerät auf eine flexible Gruppierung zur gleichzeitigen Messung mehrerer Proben ausgelegt, die einen schnelleren Testdurchsatz ermöglicht. Es bietet auch intelligente Fehlermanagement-Lösungen, erweiterte Kamerasysteme, Algorithmen für bessere Korrelation und erweiterte Wafer-Mapping-Funktionen. AIT ist in der Lage, selbst die subtilsten Mängel zu erkennen und zu klassifizieren, wodurch Kunden ihre Wafer-Fertigungsprozesse optimieren und die Ertragsverbesserung vorantreiben können. Das System ist integraler Bestandteil fortschrittlicher fab-Operationen und liefert für jede Anwendung konsistente In-Process-Wafer-Messungen und Testergebnisse. Darüber hinaus bietet die Software-Suite leistungsstarke Datenanalysefunktionen und bietet eine Echtzeit-Visualisierung der Testergebnisse. Dadurch können Kunden problemlos Prozessprobleme beheben und die Gesamtprozessleistung verbessern.
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