Gebraucht KLA / TENCOR AIT #9389839 zu verkaufen

KLA/TENCOR AIT, ein Wafer Testing and Metrology Equipment, sind automatisierte Waferinspektions- und Messtechnik-Systeme für fortschrittliche Halbleiterherstellungsanforderungen. Es besteht aus einem Metallrahmen mit mehreren automatisierten Roboterwerkzeugen, die eine genaue Orientierung des Wafers auf dem Futtertisch, Ultraschallreinigung, optische Inspektion und notwendige Messtechnik ermöglichen. Das System umfasst in der Regel ein Laserinterferometer und ein Softwarepaket, das eine umfassende Steuerung des Geräts ermöglicht. Mit dem Laserinterferometer werden alle Abstands- oder Ortsveränderungen auf den Waferoberflächen gemessen. Die Einheit kann die Dicke, Ebenheit und Oberflächenrauhigkeit der Wafer mit einer Genauigkeit von bis zu 1 nm messen. Die Maschine umfasst auch ein automatisiertes Vision-Tool, das hochauflösende Kameras, Optik, Laser und Beleuchtung umfasst, die zur personalisierten Erkennung programmiert werden können. Es kann jede Art von Kontamination oder Defekte auf der Oberfläche des Wafers, wie Risse, Einschlüsse, Partikel und Kratzer zu erkennen. Zusätzlich kann es das Vorhandensein von Mustern auf dem Wafer erkennen und eine detaillierte Korrelation erzeugen. Darüber hinaus umfasst das Asset auch die automatisierte Probenahme und Bilderfassung sowie proprietäre Technologien, um zuverlässige Datenpunkte für die Renditesicherung zu liefern. Zum Beispiel kann es Bilder von Wafern mit vordefinierten Parametern vergleichen, um Gleichmäßigkeit und Konsistenz zu bestimmen. Darüber hinaus ermöglicht das Modell Benutzern, mehrere Prozesse zu verwalten und analytische Experimente durchzuführen. Es bietet umfassende Datenanalyse-Tools, mit denen Bediener Trends und Verhalten der Wafer mit Hilfe einer erweiterten grafischen Ausgabe analysieren können. Es kann auch helfen, Prozessparameter und andere Gerätevariablen zu identifizieren, die für eine optimale Produktionsleistung angepasst werden müssen. Aufgrund seiner Flexibilität und Fähigkeit ist die KLA AIT in der Halbleiterindustrie weit verbreitet. Dieses System erhöht die Produktionsrate erheblich und senkt die Kosten durch die Bereitstellung von Hochgeschwindigkeits-automatisierten Inspektions- und Datenerfassungsfunktionen. Zusätzlich reduziert es die Inspektionszeit bei Scangeschwindigkeiten von bis zu 800 Wafern pro Stunde deutlich. Insgesamt ist TENCOR AIT eine fortschrittliche Einheit, die Halbleiterherstellern hilft, ihre Produktivität, Qualität und Kosteneffizienz zu steigern. Die automatisierten Tools bieten zuverlässige Datenpunkte für die Analyse, sodass Anwender sofort Maßnahmen ergreifen können, um die Prozessoptimierung sicherzustellen. Darüber hinaus bietet die automatisierte Sichtmaschine eine detaillierte Analyse von Kontaminationen und Defekten. Das Werkzeug ist extrem zuverlässig und kostengünstig und hilft Unternehmen, die Inspektionszeit zu reduzieren und die Ausbeute an guten Wafern zu erhöhen.