Gebraucht KLA / TENCOR Aleris CX #9315378 zu verkaufen

KLA / TENCOR Aleris CX
ID: 9315378
Weinlese: 2007
Film thickness measurement system Dual load port handler, 12" 2007 vintage.
KLA/TENCOR Aleris CX ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die speziell entwickelt wurde, um eine effiziente Messtechnik einer breiten Palette von Halbleiterbauelementen bereitzustellen. Dieses automatisierte Wafer-Prüf- und Messsystem wurde entwickelt, um mit maximalem Durchsatz und hochgenauen Messergebnissen zu arbeiten, insbesondere in den Bereichen Fehlerüberprüfung, fortschrittliche Lithographie, parametrische Tests und Ertragsoptimierung. Die Einheit ist modular aufgebaut und integriert drei Hauptkomponenten: Die Inspektionsmaschine, das Metrologie-Tool und das Feature Comparison Asset. Das Inspektionsmodell ist eine vollautomatische Ausrüstung für Hochgeschwindigkeitsdefektinspektion, Inspektion verschiedener Pulver auf einem Wafer und Inspektion von CD, Overlay, Dicke, Widerstand und Ebenheit. Es unterstützt auch die automatische und manuelle Fehlerüberprüfung. Es verwendet Hochleistungs-Abbildungsoptik, Mehrstrahl-Laserstreuung für zerstörungsfreien Code und Laserdruck zur Wafer-Identifikation. Das Metrologie-System bietet erweiterte messtechnische Fähigkeiten, einschließlich CD, Overlay, Messtechnik, Widerstand, Widerstandsänderung, Ebenheit und andere hochpräzise Messungen. Es verwendet fortschrittliche Software-Algorithmen, um hochgenaue Ergebnisse zu liefern. Es ist auch sehr skalierbar, ermöglicht eine schnelle Auswertung von mehreren Wafern in einem einzigen Lauf. Die Feature Comparison Unit ist eine fortschrittliche Messtechnik-Maschine, die eine schnelle und genaue Messung von Transistorbauelementen ermöglicht. Es verwendet eine Kombination aus Bildrekonstruktionsalgorithmen und physikalischer modellbasierter Simulation zur Analyse von Transistorbauelementmerkmalen. Das Werkzeug ist zur Messung der Taktung von Transistoreinrichtungen sowie weiterer Transistormerkmale wie Tunnelstrom und Leckstrom ausgelegt. KLA Aleris CX ist ein fortschrittliches Test- und Messtechnik-Asset, um eine Vielzahl von Halbleiterbauelementen mit höchster Präzision und Geschwindigkeit zu messen. Es bietet eine effiziente Fehlerinspektion, Unterstützung für Mehrstrahl-Laserstreuung und einen schnellen und genauen Vergleich der Funktionen. Das Modell ist sehr modular und ermöglicht eine einfache Anpassung seiner verschiedenen Komponenten an die Kundenbedürfnisse.
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