Gebraucht KLA / TENCOR Aleris CX #9380621 zu verkaufen
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ID: 9380621
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Film thickness measurement system, 12"
(3) Loadports with KAWASAKI robot
With Hard Disc Drive (HDD)
P/N: 020276-001
2007 vintage.
KLA/TENCOR Aleris CX ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für die Herstellung von Halbleitern und MEMS. Es integriert die neuesten optischen und Röntgenbildtechnologien in eine hochvolumige Plattform zur Reduzierung von Defekten und zur Verbesserung des Ertrags. Es hilft, die Zykluszeit zu reduzieren und den Produktionsdurchsatz zu erhöhen. KLA Aleris CX verwendet ein 600mm High-Speed-Bildgebungssystem, das Tausende von Wafern pro Stunde inspizieren kann. Es bietet zweidimensionale (2D) Infosammelfunktion über Dual-Head-Konfiguration und optionale Multi-Head-Architektur für proprietäre Produkte. Dadurch erhält das Gerät vier Abbildungsvolumina mit sechs unabhängig voneinander positionierten Kameras (je zwei zur Defokussierung, Charakterisierung und Beugungsabbildung). Darüber hinaus ist die bildgebende Maschine leicht einstellbar, so dass sie Oberflächenmerkmale und tiefere Unterflächenmerkmale der hergestellten Wafer erfassen kann. Das Tool verwendet proprietäre KLA-Algorithmen, um Inspektion und Fehlercharakterisierung durchzuführen. Diese Algorithmen ermöglichen es TENCOR Aleris CX, auftretende Defekte und mehrere Fehlermodi mit hoher Genauigkeit und Empfindlichkeit zu erkennen. Aleris CX hilft auch bei der Automatisierung der Inline-Prozesskorrelation von Wafer zu Wafer und Wafer zu Reticle. Es kann Untersuchungsergebnisse über Wafer oder Prozesse hinweg vergleichen, um Prozessexkursionen und Defekte schnell zu identifizieren. Das Asset bietet schnelle Bilderfassung, Detektorneigungsmessung und schnelle Fehlerlokalisierung. Es kann auch ausführliche Profilometrie und detaillierte 3D-Topographie-Analyse durchführen. Darüber hinaus können KLA/TENCOR Aleris CX-Röntgenbilder Dünnschichtmaterialstapel auf unkonventionell gemusterten Wafern detektieren. KLA Aleris CX verfügt über eine intuitive, benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI). Diese intuitive Oberfläche, kombiniert mit einem flexiblen Integrationsprozess und einer modularen Softwarearchitektur, bietet Herstellern eine vielseitige Wafer-Testlösung. Mit seinen leistungsstarken Bildgebungs- und Messtechnikmerkmalen ist TENCOR Aleris CX eine ideale Wahl für Wafer-Tests und Ertragsmanagement für die Halbleiterproduktion und andere Branchen wie die Herstellung von MEMS und biomedizinischen Geräten. Das Modell kann Kosteneinsparungen durch reduzierte Time-to-Market erleichtern, die Prozesskontrolle verbessern und die Erträge erhöhen.
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