Gebraucht KLA / TENCOR Aleris HT #9380623 zu verkaufen
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ID: 9380623
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Film thickness measurement system, 12"
SpectraFX 1000 HT
(2) Loadports with YASKAWA robot
With Hard Disc Drive (HDD)
2005 vintage.
KLA/TENCOR Aleris HT ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik, die fortschrittliche Robotik-, Visualisierungs- und Messfähigkeiten für die Produktion hochleistungsfähiger mikroelektronischer Komponenten bietet. Es bietet eine Vielzahl von Testoptionen und Wafer-Handhabungsfunktionen, die die Waferqualität und den Durchsatz maximieren und gleichzeitig Kosten und Zeit minimieren. KLA Aleris HT unterstützt Wafertests sowohl an abgetasteten als auch an begrenzten Rastergeometrien und beinhaltet ein Rasterelektronenmikroskop (SEM) für die Stempel- und die Stempelprüfung komplexer Submikron-Merkmale. Das modulare System bietet eine gleichzeitige Inspektion mehrerer Wafer und bietet Benutzern die Flexibilität, ihren Workflow anzupassen. Mit schnellen Inspektionsgeschwindigkeiten und einer branchenführenden 5-Gang-Scan-Option ist mit TENCOR Aleris HT ein bis zu 50% schnellerer Waferdurchsatz möglich. Neben den fortschrittlichen Testfunktionen unterstützt Aleris HT auch die Wafer-Messtechnik. Es enthält ein einzigartiges Scanning Near-Field Optical Microscope, das eine extrem hochauflösende Bildgebung ermöglicht, um eine Vielzahl kritischer Merkmale mit Nanometergenauigkeit zu messen. Mit seinem fortschrittlichen Rasterkapazitätsmikroskop kann das Gerät Kapazität, Widerstand und andere elektrische Eigenschaften auf einzelnen Verbindungsstrukturen messen. Schließlich enthält KLA/TENCOR Aleris HT eine robuste Bibliothek von Waferanalyse-Algorithmen, die zur automatischen Erkennung und Isolierung von Defekten auf allen Ebenen der Waferstruktur von oben nach unten entwickelt wurde. Die benutzerfreundliche Oberfläche von KLA Aleris HT ermöglicht den Betreibern die einfache Konfiguration und Überwachung ihrer Prüf- und Messtechnik. Die mitgelieferte interne Audit-Trail-Funktion sichert die Rückverfolgbarkeit bei forensischer Analyse. Die Maschine umfasst auch Fernzugriffsfunktionen, die die Steuerung und Überwachung von Test- und Messtechnik von einem zentralen Ort aus ermöglichen. Zusammenfassend ist TENCOR Aleris HT ein fortschrittliches All-in-One-Wafer-Test- und Metrologie-Tool, das fortschrittliche Robotik-, Visualisierungs- und Messfähigkeiten bietet, um hochwertige mikroelektronische Komponenten mit schnellerem Waferdurchsatz und höherer Genauigkeit zu produzieren. Mit seiner benutzerfreundlichen Oberfläche, einer robusten Bibliothek mit Analysealgorithmen und Remote-Zugriffsfunktionen kann Aleris HT Herstellern dabei helfen, Kosten und Zeit zu reduzieren und gleichzeitig höchste Qualität zu gewährleisten.
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