Gebraucht KLA / TENCOR Aleris HX #9407132 zu verkaufen

ID: 9407132
Weinlese: 2006
Film thickness measurement system 2006 vintage.
KLA/TENCOR Aleris HX ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um leistungsstarke Inspektions-, Test- und charakterisierte messtechnische Ergebnisse verschiedener Arten von Wafern anzubieten. Das System besteht aus einem präzisen optischen Mikroskop, einer automatisierten Probenstufe und einer leistungsfähigen Analysesoftware. Das präzise optische Mikroskop innerhalb der Einheit bietet eine integrierte Abbildungsfähigkeit, die Bilder der gesamten Waferoberfläche oder einzelner Stellen aufnehmen kann. Mit einem einstellbaren Vergrößerungsbereich zwischen 5x und 100x ermöglicht das Mikroskop den Anwendern die Analyse von Fehlern, wie Rissen, Hohlräumen und Defekten. Das Mikroskop ist auch in der Lage, fokussierte Bilder einzelner Standorte zu erfassen, die sehr detaillierte Bilder für die Messtechnik erzeugen. Die automatisierte Probenstufe der Maschine bietet zuverlässiges Wafer-Handling und hohen Durchsatz. Es kann den Wafer bis zu 30 Schichten pro Minute bewegen, mit einer Wiederholbarkeit von 0,02 Mikron in einem Wafer mit 600 mm Durchmesser. Die Bühne ist auch in der Lage, Hochgeschwindigkeits-Scan bereitzustellen, so dass ein einziger Scan von 8-Zoll-Wafer in weniger als 3 Minuten. Die leistungsstarke Analysesoftware des Tools bietet effiziente Workflows mit integrierten Benutzeroberflächen, um Bearbeitungszeiten zu verbessern und Benutzereingabefehler zu reduzieren. Darüber hinaus können Anwender interaktive Analysebedingungen definieren, Messergebnisse analysieren und detaillierte Daten melden. Darüber hinaus können Benutzer auf ihre Ergebnisdatenbank zugreifen, die maßgeschneiderte grafische und tabellarische Berichte mit Datenanalyse- und Vergleichsfunktionen bereitstellt. Insgesamt ist KLA Aleris HX ein leistungsfähiges Wafer-Test- und Messtechnik-Asset, das hohe Präzision, hohen Durchsatz und benutzerfreundliche Workflows bietet. Es ist das ideale Modell für die Untersuchung und Charakterisierung verschiedener Arten von Wafern, einschließlich Substraten, Isolatoren und Widerständen.
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