Gebraucht KLA / TENCOR Alpha Step 100 #293606740 zu verkaufen

KLA / TENCOR Alpha Step 100
ID: 293606740
Surface profiler.
KLA/TENCOR Alpha Step 100 ist eine „Wafer-Prüf- und Messtechnik“ -Ausrüstung, die für den Einsatz in Halbleiterforschungs- und Entwicklungslaboren, der industriellen Elektronikproduktion und verwandten Anwendungen entwickelt wurde. Es kombiniert fortschrittliche kontaktbasierte Oberflächenprofilometrie, berührungslose optische kritische Dimension (CD) -Bildgebung und berührungslose Topographie-Messtechnik in einer einzigen, automatisierten Plattform. Das System unterstützt sowohl manuelles als auch automatisiertes Scannen und ermöglicht die Messung und Analyse von Oberflächentopographie, Korngröße, Querschnittsprofil, Waferform, Kantenschrägung, Overlay und Mikrographendaten. KLA Alpha Step 100 hat eine Vielzahl von Optionen für Oberflächenprofilometriemessungen, einschließlich Kontaktscannen, berührungsloses Tracing, Entspannungsmessung und lamellare Bildgebung. Der Kontakt-Scan-Modus misst die Oberfläche einer Probe durch direkten Kontakt, während der berührungslose Tracing-Modus hochauflösende Oberflächenprofile ohne direkten Kontakt erhält. Zusätzlich misst die Entlastungsoption spannungsinduzierte Formänderungen in Proben, die einer thermischen, mechanischen oder chemischen Behandlung unterzogen werden. Der lamellare Bildgebungsmodus ermöglicht es Benutzern, Korngrößenverteilungen in Aluminiummaterialien zu messen, während der Anisotropie-Messmodus Messungen der Anisotropie unter verschiedenen Oberflächenbedingungen ermöglicht. Für die optische CD-Bildgebung verfügt TENCOR Alpha Step 100 über mehrere Softwarepakete, wie Metrotool, Wafertool, Spyglass und Lottolkit. Diese ermöglichen die berührungslose Abbildung von Prozessmerkmalen wie Gate-Geometrien, Linien- und Raumbreiten, Querschnittsprofil und Overlay-Daten. Die topographische Messtechnik verwendet fortgeschrittene berührungslose Techniken wie Interferometrie, optische Kohärenztomographie (OCT) und konfokale Mikroskopie, um Probenform und Oberflächen mit hoher Auflösung zu messen. Das Gerät bietet auch automatisierte Erkennung und Messung von Kantenschrägungen und anderen zusammengesetzten Merkmalen. Neben seinen vielfältigen Messmöglichkeiten bietet Alpha Step 100 eine Reihe automatisierter Datenverarbeitungsfunktionen, wie die vom Anwender ausgewählte Kantenerkennung, automatisierte Partikelanalyse, automatische Bildnähte und Fliesen sowie die Falschfarbrekonstruktion. Die automatisierte Scanfunktion der Maschine ermöglicht eine schnelle und genaue Datenerfassung, während die intuitive Steuerungssoftware den Benutzern eine mühelose Kontrolle über alle Hardware- und Datenerfassungsfunktionen bietet. Insgesamt liefert das KLA/TENCOR Alpha Step 100 Tool zuverlässige und präzise Messungen für Wafertests und messtechnische Zwecke. Es ist ein vielseitiges, benutzerfreundliches und kostengünstiges Asset für Einzelpunkt- und Mehrpunktstudien.
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