Gebraucht KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293590192 zu verkaufen

KLA/TENCOR Alpha Step 200 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik für den Halbleiterherstellungsprozess. Es bietet genaue Messungen kritischer Dimensionen und Topographie von Halbleitersubstraten zur Fehleranalyse, Prozessoptimierung und -entwicklung sowie Prozesssteuerung. Dieses Wafer-Inspektionssystem nutzt berührungslose optische Messtechnik, um eine Vielzahl von Messungen durchzuführen. Es ist in der Lage, CD (kritische Dimension) über die Wafer so niedrig wie 0,3 um in der Auflösung zu messen. Es verwendet interferometrische Techniken, um Höhe, Oberflächenrauhigkeit, CD-Gleichmäßigkeit und Profilmessungen bereitzustellen. Darüber hinaus ist KLA ALPHASTEP 200 eine Mehrkanal-Einheit, mit der Anwender eine Vielzahl von Messungen auf einem einzelnen Substrat oder mehreren Substraten gleichzeitig ablaufen können. TENCOR ALPHA-STEP 200 verfügt auch über zweistufige automatisierte Scannen für hohe Geschwindigkeit, hohe Genauigkeit Messungen von Waferkantenprofilen. Diese Messungen werden verwendet, um die Flachheit des Wafers, die Kette der Rückseite und andere Eigenschaften im Zusammenhang mit Waferkanten zu bestimmen. Darüber hinaus ist die Maschine in der Lage, Defekte und Anomalien in den Wafern zu erkennen, wie Partikel, Kontaminate oder andere Merkmale, die Prozessregeln verletzen. Diese Funktion ist wesentlich für die Fehleranalyse und Prozessoptimierung. KLA/TENCOR ALPHA-STEP 200 ist zudem mit SmartAlign-Technologie ausgestattet, die Substratverformung, Fehlausrichtung und Vorspannung während des Messvorgangs automatisch lokalisiert und kompensiert. Dies gewährleistet eine höhere Messgenauigkeit und Wiederholbarkeit. Darüber hinaus kann das Tool Tausende von Messprogrammen speichern, so dass Benutzer schnell und einfach zwischen verschiedenen Testsequenzen wechseln können. ALPHASTEP 200 enthält ein benutzerfreundliches Softwarepaket zur Waferinspektion, das den Workflow-Prozess vereinfacht. Mit dieser Software können Betreiber die Messdaten eines bestimmten Prozesses steuern, konfigurieren, analysieren und speichern. Es ermöglicht auch eine anpassbare Berichterstattung und Analyse der Ergebnisse und gibt Einblick in die Produktionsprozessleistung. KLA Alpha Step 200 ist hochautomatisiert und spart Zeit für Bediener. Es ist für den Einsatz in einer 24/7-Produktionsumgebung konzipiert und bietet Zuverlässigkeit und Leistung auch unter schwierigen Bedingungen. Seine überlegene Genauigkeit, Mehrkanalfähigkeit und SmartAlign-Technologie machen es zu einer idealen Lösung für die Halbleiterindustrie.