Gebraucht KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293652814 zu verkaufen

ID: 293652814
Profilometer.
KLA/TENCOR Alpha Step 200 ist eine anspruchsvolle Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um eine schnelle und genaue Prüfung einer Reihe von Halbleitermaterialien bereitzustellen. Das System ist eine vollautomatisierte Lösung, die umfassende Parameter für die direkte physikalische und chemische Analyse von Wafern bietet, einschließlich Ebenheit und Oberflächentopographie, Grabentiefe, IC-Eckenkantenfase und -profil, Overlay, Seitenwandwinkel, Formfaktor und Kantenrauhigkeit. Die KLA ALPHASTEP 200 wurde auf einer automatisierten x-y-Stufe aufgebaut und nutzt die Oberflächenpunktanalyse, um physikalische und elektrische Eigenschaften von Wafermaterialien genau zu messen. Als Ergebnis bietet es umfassende Tests von Wafern über eine Vielzahl von industriellen Prozessen, um sicherzustellen, dass Produkte Anforderungen erfüllen und schnell und sicher geliefert werden. TENCOR ALPHA-STEP 200 bietet zwei Sensorsysteme - optisch und Piezo. Seine optische Einheit ist ein innovativer Dreiwellenlängensensor mit fortschrittlicher Magnetismus- und Lasertechnologie; So kann sie Seitenwandschichtprofile, Grabenkantenfase, Formfaktor, Linienbreite und andere wichtige Geometrien und Kantenrauhigkeiten präzise charakterisieren. Mit der zweiten Sensormaschine Piezo kann die KLA ALPHA-STEP 200 die Mikrostruktur des Wafers analysieren. Unter Verwendung einer lufttragenden Fläche, um kleine Oberflächenmerkmale zu erfassen, ist das Werkzeug in der Lage, verschiedene Merkmale zu erkennen, einschließlich Überlagerungsgenauigkeit, Linie, Breite und Regelaushöhlung. Zusätzlich kann es auf elektrische Eigenschaften wie Bogenwiderstand, Kontaktwiderstand und Verbindungstiefe testen. TENCOR Alpha Step 200 bietet auch eine Reihe automatisierter Funktionen, mit denen Benutzer Wafer schnell auswerten und analysieren können. Das Asset enthält Algorithmen zur Mustererkennung, die Fehler automatisch lokalisieren, ihre Standorte analysieren, ihren Standort und ihre Klasse angeben und entsprechende Korrekturmaßnahmen einleiten können. Darüber hinaus bietet das Modell eine Bibliothek von Testdaten, die mit dem Testmaterial verglichen werden können, um sicherzustellen, dass dieses den Spezifikationen entspricht. Dies hilft Benutzern, genaue Ergebnisse schneller zu erzielen, wodurch sie Zeit und Geld sparen. Zusammenfassend ist TENCOR ALPHASTEP 200 eine leistungsfähige Wafer-Prüf- und Messtechnik, die umfassende Parameter für die direkte physikalische und chemische Analyse von Wafermaterialien bietet. Mit zwei fortschrittlichen Sensorsystemen und einer Reihe automatisierter Funktionen ermöglicht das System Anwendern, verschiedene industrielle Prozesse schnell zu bewerten und zu analysieren, um eine Produktzertifizierung und eine sichere Lieferung zu gewährleisten.
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