Gebraucht KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293817499 zu verkaufen

KLA / TENCOR Alpha Step 200
ID: 293817499
Surface profiler.
KLA/TENCOR Alpha Step 200 ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die die Effizienz und Ausbeute der Geräteherstellung verbessern soll. Das System wurde entwickelt, um eine vollständige Abdeckung der zum Aufbau und Testen von Waferproben erforderlichen Messungen bereitzustellen, einschließlich elektrischer Eigenschaften wie Gesamtkapazität, Durchbruchspannung, Dielektrizitätskonstante und Widerstand. Es bietet auch integrierte Charakterisierung der dielektrischen Dicke, Oberflächentopographie und Gateoxiddicke. Die Einheit besteht aus einer Haupteinheit, in der die erweiterten Fähigkeiten des optischen und Rasterelektronenmikroskops (SEM) sowie die integrierten Datenanalysetools untergebracht sind. Mit der berührungslosen, zerstörungsfreien optischen Oberflächencharakterisierung kann KLA ALPHASTEP 200 Dicke, Oberflächentopographie und Gateoxiddicke von Wafern ohne Beschädigung messen. Ausgefeilte SEM-Fähigkeiten, gepaart mit leistungsstarken Bildanalyse- und Messfähigkeiten, können Fehler schnell erkennen und charakterisieren. Die Maschine umfasst auch erweiterte Automatisierungsfunktionen wie automatisierte Wafer-Messtechnik und Wafer-Sondierung. Mehrere Tastkarten können verwendet werden, und die automatische Aufgabe Sequenzierung Funktion entfällt die Notwendigkeit der manuellen Programmierung und beseitigt Bediener-zu-Bediener-Variationen. TENCOR ALPHA-STEP 200 kann auch mit speziellen Vorplanungs- und Nachbearbeitungsfunktionen angepasst werden. Es ist mit einem umfassenden Satz von Messarten entworfen, die zusammen mit fortschrittlichen Charakterisierungstechniken verwendet werden können, um Wafer mit verschiedenen Parametern genau zu messen. Das Tool wurde mit einer ganzen Reihe von Softwarekomponenten entwickelt, um Wafermessung, Analyse und Reporting zu ermöglichen. Automatisierte Wafer-Zuordnungs-, Mustererkennungs- und Datenverwaltungsfunktionen ermöglichen eine effiziente und genaue Waferanalyse. Darüber hinaus kann ALPHA-STEP 200 in andere KLA-Produkte und -Prozesse integriert werden, um ein ganzheitliches Asset zu schaffen, das von Anfang bis Ende komplette charakterisierende Lösungen liefern kann. Abschließend ist KLA ALPHA-STEP 200 ein leistungsfähiges und effizientes Modell für Wafertests und Messtechnik. Es bietet eine vollständige Abdeckung der für die Geräteherstellung erforderlichen Messungen, einschließlich elektrischer, optischer und rasterelektronenmikroskopischer Charakterisierungen. Automatisierte Wafer-Messtechnik und Wafer-Sondierung machen KLA/TENCOR ALPHA-STEP 200 zu einer idealen Lösung für die Produktion von Wafern mit hoher Ausbeute. Darüber hinaus ermöglichen seine leistungsstarken Software-Tools eine effiziente Waferanalyse, Datenverwaltung und Reporting.
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