Gebraucht KLA / TENCOR Alpha Step 200 #9012731 zu verkaufen
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ID: 9012731
Surface profiler
Model number: 10-02000
Programmable X-Y stage
Video monitor, 9"
Motorized and manual stage
(3) Operating modes:
Manual
Semiautomatic
Automatic
Scanning stylus: 12.5 Micron radius
Zoom video microscope: 40x to 120x Magnification
Vertical resolution: 5 Angstrom (With ±160 k angstrom range, 5 nm with ±160 micro-meter range)
Vertical sensitivity: Measures even smallest steps, 20 to 50 angstrom
Horizontal resolution: 400 Angstrom
Tracking force: User adjustable, 1 to 25 mg
Maximum sample dimensions: 16.5 mm thickness, 162 mm diameter
Power requirements: 90-130 VAC, 50/60 Hz, 120 VA max.
KLA/TENCOR Alpha Step 200 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur Messung und Analyse kritischer Parameter von Halbleiterscheiben. Das System verwendet eine proprietäre optische Kontrasttechnik, die die Inspektion von Proben mit einer Vielzahl von Substraten und Beschichtungen erleichtert. KLA ALPHASTEP 200 bietet ein zerstörungsfreies Verfahren zur Analyse einer Vielzahl topographischer Merkmale der Oberflächen von Halbleiterscheiben. Es kann Oberflächenprofil, Oberflächenstruktur, Ätzgrubendichte und kritische Dimension sowie Oberflächenebenheit und optische Textur messen. Eine Hochgeschwindigkeitslinienscanbildverarbeitungseinheit wird verwendet, um Defekte in der Oblatenoberfläche zu entdecken und ausfindig zu machen. Der Wafer kann mit hoher Präzision im manuellen oder automatisierten Modus gemessen werden, was eine zuverlässige und wiederholbare Analyse der Oberfläche ermöglicht. TENCOR ALPHA-STEP 200 enthält auch fortschrittliche automatisierte Mess- und Analysesoftware, die einen detaillierten Bericht über die Ergebnisse liefert. Die Software kann die Daten analysieren und sowohl grafische Darstellungen der Ergebnisse als auch statistische Analysen der gesamten Probe liefern. Die Maschine ist hochflexibel und ermöglicht es Benutzern, die Leistung und Parameter jeder Messung anzupassen. Der modulare Aufbau ermöglicht eine einfache Installation und Integration in eine bestehende Produktions- oder Laborumgebung. TENCOR ALPHASTEP 200 hat auch einen hohen Durchsatz, so dass 200 Wafer in einer typischen 8-Stunden-Schicht getestet werden können. TENCOR Alpha Step 200 wurde entwickelt, um strenge Industriestandards zu erfüllen und genaue, wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse für eine breite Palette komplexer Anwendungen zu liefern. Das Werkzeug bietet ausgezeichnete Präzision, hohe Genauigkeit und geringe Geräuschpegel. Die Anlage ist für Labor-, Produktions-, Forschungs- und Entwicklungszwecke sowie für Bildungszwecke konzipiert. Zusammenfassend ist KLA/TENCOR ALPHA-STEP 200 ein leistungsstarkes und vielseitiges Wafer-Prüf- und Metrologiemodell, das für hochgenaue und zuverlässige Messungen einer Vielzahl von Substraten und Beschichtungen entwickelt wurde. Das Gerät ist hochgradig konfigurierbar, sodass Benutzer seine Leistung und Parameter an ihre spezifischen Anforderungen anpassen können. Das System umfasst auch fortschrittliche automatisierte Mess- und Analysesoftware, die detaillierte und genaue Ergebnisse liefert. KLA ALPHA-STEP 200 wurde entwickelt, um die strengen Industriestandards zu erfüllen und liefert sehr wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse.
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