Gebraucht KLA / TENCOR Alpha Step 200 #9124963 zu verkaufen
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ID: 9124963
Profilometer vertical measurement system
Ranges: auto ranging up to +/- 160 KA or 160 um –20 to 50 A,
Resolution: Vertical: 5A with +/- 160 KA 400 A
Stylus radius standard: 12.5 um or 5.0 um
Stylus tracking force adjustable between 1 and 25 mg
Precision X-Y stage X-Axis 100 mm Y-Axis 81 mm Z-Axis 21 mm
Largest sample size 162 mm.
KLA/TENCOR Alpha Step 200 ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik für die Halbleiterherstellung. Mit seiner Präzision und Genauigkeit, integrierter Automatisierung und umfangreichen Datenanalysefunktionen bietet KLA ALPHASTEP 200 die branchenführenden Analysefähigkeiten, die Hersteller benötigen, um die höchste Qualität von Geräten über eine Vielzahl von Prozessen zu erhalten. TENCOR ALPHA-STEP 200 enthält eine detaillierte Wafer-Karte, die es ermöglicht, winzige Merkmale oder komplexe Fehler genau zu messen, mit denen Produktionsfehler schnell erkannt und korrigiert werden können. TENCOR ALPHASTEP 200 verfügt über eine zweiachsige dreidimensionale Zweipositionsstufe, die es ermöglicht, den Wafer gleichzeitig zu betrachten, zu bewegen und zu scannen. Die Präzision und Genauigkeit der Stage ist ideal für die Messung kleiner Merkmale, Defekte und anderer Eigenschaften. Die Stage ist auch in der Lage, Hochgeschwindigkeits-CMP-Messungen durchzuführen, was zur Erkennung kleiner Schwankungen der Waferoberfläche nützlich ist. KLA/TENCOR ALPHASTEP 200 beinhaltet auch ein hochauflösendes Bildgebungssystem, das eine präzise Analyse großer Bereiche des Wafers ermöglicht. Darüber hinaus verwendet diese Einheit neuartige Deep-Learning-Algorithmen, um verschiedene Arten von Fehlern automatisch zu identifizieren und zu klassifizieren. KLA ALPHA-STEP 200 beinhaltet auch eine umfassende Software-Suite, die erweiterte Datenanalyse- und Steuerungsfunktionen ermöglicht. Die Software enthält leistungsstarke Kalibrierwerkzeuge, die es Anwendern ermöglichen, die Einstellungen für Wafertests und Messtechnik unter Beibehaltung präziser Ergebnisse anzupassen. Mit den von ALPHASTEP 200 erzeugten Daten können Produktionstrends verfolgt und Produktionsprozesse optimiert werden. Darüber hinaus kann die Software detaillierte Berichte und Grafiken erstellen, mit denen Daten weiter analysiert und Fertigungsprobleme identifiziert werden können. Insgesamt ist ALPHA-STEP 200 eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine. Seine präzisen und präzisen Positionier- und Bildgebungssysteme sowie seine umfangreichen Softwarefunktionen machen es für die Aufrechterhaltung hochwertiger Geräte in einer Vielzahl von Prozessen unerlässlich. Darüber hinaus ermöglichen die detaillierten Wafer-Maps des Tools, die automatisierte Fehlererkennung und -klassifizierung sowie erweiterte Berichtsfunktionen es Herstellern, Produktionsprobleme schnell zu identifizieren und anzugehen.
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