Gebraucht KLA / TENCOR Alpha Step 200 #9289904 zu verkaufen
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KLA/TENCOR Alpha Step 200 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die speziell entwickelt wurde, um die Eigenschaften von Wafern und Gerätestrukturen auf der Nanoskala zu charakterisieren. Das System arbeitet mit einer Kombination aus Rasterelektronenmikroskopie (SEM), Atomic Force Microscopy (AFM) und Oberflächenprofilometrietechnologien. Das Gerät verfügt über eine hochauflösende monochrome Bildverarbeitungsmaschine mit einem robusten Design, das eine zuverlässige und gleichbleibende Bildqualität bietet. Das bildgebende Werkzeug umfasst einen 60kV Sekundärelektronendetektor und eine Vielzahl von bildgebenden Modi wie optische SIM, SEM und SEM/AFM. Es verwendet einen hocheffizienten EDS-Detektor, der eine ausgezeichnete Empfindlichkeit, eine ausgezeichnete räumliche Auflösung und eine schnelle passive Mehrkanalsammlung von Röntgenspektren bietet, um die Zusammensetzung des Wafers zu analysieren. Das Asset bietet ein automatisiertes und benutzerdefiniertes Muster-Navigationsmodell, das eine schnelle, berührungslose Abbildung des Wafers ermöglicht. Es zeigt auch eine, Hochleistungsmehrachsenautofokusausrüstung, die hochgenaue und repeatable Bildaufbereitung ohne Benutzereingreifen ermöglicht. Das System ermöglicht die automatische Auswahl von Abbildungsparametern für verschiedene Arten von Messungen und ermöglicht die vollständige Integration mit KLA-Spektren und polarimetrischen Waferanalysatoren. KLA ALPHASTEP 200 bietet eine Reihe weiterer Funktionen zur Verbesserung der Wafer-Charakterisierung. Es bietet eine parametrische Sub-Nanometer-Datenverarbeitungseinheit, die eine verbesserte Genauigkeit bei Messungen sowie eine automatisierte Waferanalyse ermöglicht. Die Maschine ist auch in der Lage, spektrale Erfassung, Speicherung und Visualisierung zu optimieren. Darüber hinaus umfasst das Tool Prozessoren und Softwarepakete, um Daten zu analysieren, die Wiederholbarkeit zu bestimmen und einen schnellen Austausch von Ergebnissen mit anderen Systemen zu ermöglichen. TENCOR ALPHA-STEP 200 entspricht Industriestandards wie SEMI, PIES und Imec und ist damit eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen. Mit seinem robusten Design und seinen fortschrittlichen Funktionen bietet das Asset eine robuste und leistungsstarke Lösung für die nanoskalige Charakterisierung.
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