Gebraucht KLA / TENCOR Alpha Step 250 #9284473 zu verkaufen

KLA / TENCOR Alpha Step 250
ID: 9284473
Profilometer.
KLA/TENCOR Alpha Step 250 Wafer-Prüf- und Messtechnik bietet ultraschnelle und genaue Messungen von integrierten Schaltungsstrukturen (IC) und Prozessschichten auf Halbleiterscheiben. Es ist mit einem berührungslosen Weißlicht-Interferometer ausgestattet, das fortschrittliche optische Techniken verwendet, um Oberflächeneigenschaften wie Topographie und Rauheit von Halbleiterscheiben von Mikron bis zu Angström-Skalen zu messen. Das System unterstützt auch andere Messtechniken, wie integrierte fokussierte Ionenstrahlen (FIB) und Transport von ionisierten Spezies (TIS) Technologien, für genaue und präzise Messungen von Geräteschichten und Schaltungsstrukturen. Das Gerät ist sehr zuverlässig, mit Gesamtprüfwiederholbarkeitsfehler (TRRE) unter 4% für Wafer bis 200 mm Durchmesser. Mit dem KLA Alpha Step 250 können Wafermessungen bei einer Liniengeschwindigkeit mit einem maximalen Durchsatz von 150 Wafern pro Stunde und einer verbesserten Bildverarbeitungsgeschwindigkeit von 10 US/Pixel durchgeführt werden. Seine integrierten Deep-Learning-Algorithmen ermöglichen genaue und effiziente Messungen, während seine intelligente Schichterkennung die Identifizierung von Schichten und Prozessen während der Nachbearbeitung ermöglicht. TENCOR Alpha Step 250 bietet umfassende Messdatenfunktionen, einschließlich Scanelektromikroskopie (SEM), I-V-Tests und Parameterextraktion. Darüber hinaus ermöglicht der breite Betriebstemperaturbereich zwischen 25 und 85 ° C der Maschine das Arbeiten unter unterschiedlichsten Umgebungsbedingungen. Die eingebaute Bordautomatisierung ermöglicht Oberflächenbildgebung und Fehlerinspektionen in einem kontinuierlichen und automatisierten Fluss. Alpha Step 250 ist auch benutzerfreundlich und einfach konfigurierbar, so dass es für verschiedene Anwendungen angepasst werden kann. Es unterstützt eine Vielzahl von Nachbearbeitungswerkzeugen, wie graphenbasierte Algorithmen zur automatisierten topographischen Merkmalextraktion, nichtparametrische statistische Methoden zur fehlerbasierten Klassifikationsanalyse und Visualisierungstechniken zur einfachen Überprüfung von Waferdaten. Die Plattform bietet auch eine intuitive webbasierte Benutzeroberfläche, mit der Benutzer das Tool einfach von jedem entfernten Standort aus steuern, überwachen und konfigurieren können. KLA/TENCOR Alpha Step 250 ist eines der fortschrittlichsten und genauesten verfügbaren Wafertest- und Messtechniksysteme. Mit hochpräzisem Scannen, erhöhter Geschwindigkeit und vielseitigen Nachbearbeitungswerkzeugen ist es eine ausgezeichnete Wahl für Wafer-Testanwendungen.
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