Gebraucht KLA / TENCOR Alpha Step 300 #140855 zu verkaufen
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ID: 140855
Weinlese: 1992
Profilometer
Scan length: ±10 mm
Scan speed: 2 to 250 µm/sec
Sampling rate: 50/sec Nominal
Vertical resolution
Switchable
Resolution:
6.5µm Vertical range: 1Å
150µm Vertical range: 25Å
Stylus programmable force range: 1.0-100 mg
Stylus programmable force resolution: 0.1 mg
X, Y Maximum travel: 210 mm
Maximum sample size: 254 x 254 mm
Full size computer keyboard for system control
Power supply: 115V, 4A, 1 Ph, 60 Hz
1992 vintage.
KLA/TENCOR Alpha Step 300 Wafer-Prüf- und Messtechnik ist ein automatisiertes Messwerkzeug, das in der Halbleiterindustrie verwendet wird, um die Leistung und Qualität von Halbleiterchips zu testen. Es bietet präzise, wiederholbare Messungen kritischer Parameter wie Schritthöhen, Oberflächenrauhigkeit, Muster, Linienbreiten und Seitenverhältnisse. Das System verwendet ein Interferometer, um das Profil des Wafers mit einer Genauigkeit von 0,5 Nanometern über einen Messbereich von bis zu 300 Millimetern zu erfassen. Dadurch kann der Anwender sehr kleine Veränderungen in der Form des Wafers erkennen, die sich tiefgreifend auf die Qualität des Fertigprodukts auswirken können. KLA Alpha Step 300 bietet auch eine automatische Mustererkennung für präzise Mustermessungen, einschließlich genauer Position und Größe. Ein integriertes optisches Mikroskop bietet dem Bediener eine verbesserte Fähigkeit, die Oberfläche des Wafers direkt zu betrachten. Darüber hinaus ermöglichen automatisierte Software-Tools die Messung und Auswertung großer Volumendaten mit hoher Genauigkeit. Das Gerät ist in der Lage, bis zu 200 Proben pro Stunde zu messen und ist mit Datenspeicher- und Berichtfunktionen ausgestattet, die es leicht machen, die Leistung im Laufe der Zeit zu verfolgen. TENCOR ALPHASTEP 300 wird mit einer Reihe von optionalen Komponenten angeboten, um die Leistung und Fähigkeiten der Maschine zu verbessern. Ein optionaler Linearscanner mit hoher Geschwindigkeit und großem Sichtfeld erhöht die Durchsatzgeschwindigkeit auf 500 Proben pro Stunde. Ein intelligentes Telezentrierwerkzeug passt die Probe automatisch an den optischen Kopf an, wodurch die manuelle Einrichtung entfällt und der Durchsatz verbessert wird. Eine einzigartige Ultraschallwandleroption ermöglicht die Messung von ungleichmäßig beabstandeten Strukturen und die Charakterisierung von mehrstufigen Strukturen. ALPHASTEP 300 wafer testing and metrology asset ist ein automatisiertes Messwerkzeug, das präzise, wiederholbare Messungen kritischer Parameter ermöglicht. Es ist einfach zu bedienen, robust und zuverlässig, mit der Fähigkeit, Hunderte von Proben pro Stunde bei 0,5 Nanometer Genauigkeit zu messen. Eine Reihe optionaler Komponenten verbessert die Leistung und Leistungsfähigkeit des Modells weiter und ist damit ideal für Halbleiterhersteller, die die höchste Qualitätskontrolle und Leistungsfähigkeit ihrer Produkte gewährleisten möchten.
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