Gebraucht KLA / TENCOR Alpha Step 300 #9162861 zu verkaufen
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KLA/TENCOR Alpha Step 300 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. KLA Alpha Step 300 ist ein Inspektionswerkzeug, das in einer „Helligkeitsfeldumkehrmikroskop“ -Konfiguration arbeitet und eine Vielzahl von Funktionen bietet, mit denen Anwender sowohl die Leistung als auch die Messgeschwindigkeit optimieren können. Der Alpha Step bietet Inspektionen mit einer branchenführenden 0,5 μ m Auflösung mit automatisierter Fokusüberwachung und Lärm- und Fehlerunterdrückung, die eine zuverlässige Analyse von High-Aspect-Ratio-Materialien wie Carbon Nanotubes und MEMS-Geräten ermöglichen. Die Advanced Photon Counting und Advanced Photon Counting Split-Beam Technologien sorgen für präzise und wiederholbare Ergebnisse auch in Dunkelfeldumgebung. Der Alpha Step nutzt eine proprietäre Chrom-auf-Quarz-Konfiguration, die einen Vorteil gegenüber herkömmlicher Baumeister-Optik hat. Dies führt zu einer schnelleren und qualitativ hochwertigeren Bildgebung und einem besseren Durchsatz in der Serienproduktion. Das System kann zusätzlich zu herkömmlichen 2D-Messungen 3D-Messungen durchführen, um genauere Ergebnisse zu erzielen. Es wurde auch entwickelt, um „FinFET“ -Transistoren zu messen, die in den neuesten Fertigungsprozessen verwendet werden. TENCOR ALPHASTEP 300 ist ideal für die Wafer-Level-Defekt-Messtechnik sowie die Produktionsergebnisüberwachung. Es bietet Unterstützung für einen breiten Frequenzbereich für erweiterte Echtzeit-Fehleranalyse, Größenbildung und Zuordnung kritischer Parameter. Automatisierte Schallrahmenanalyse hilft bei der genauen Messung der Dünnschichtdicke. Das Gerät verfügt über verschiedene Stufen der fortschrittlichen Automatisierung, z. B. Front-End-Probenladung, um die Anforderungen der Serienumgebung zu erfüllen. Für spezifische Anwendungen kann ALPHASTEP 300 in fortschrittliche Messtechnik-Systeme wie WaferMapper und ReticleMapper integriert werden. Dies ermöglicht eine korrelierte und automatisierte Datenerfassung und bietet einen erhöhten Durchsatz, eine bessere Genauigkeit und eine verbesserte Fehlerauflösung. KLA ALPHASTEP 300 bietet Kunden auch eine universelle Wafer-Handler-Schnittstelle zum Laden von Wafern unterschiedlicher Steigungen und Größen mit dem zusätzlichen Vorteil einer Pull-and-Push-Funktion, mit der beim Be- und Entladen gleichmäßiger Druck und Temperatur auf die Probenoberfläche aufgebracht werden können. Insgesamt ist TENCOR Alpha Step 300 eine zuverlässige und einfach zu bedienende Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine, die genaue und wiederholbare Messungen mit hohem Durchsatz ermöglicht, geeignet für kleine und große Projekte.
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