Gebraucht KLA / TENCOR Alpha Step 500 #293660940 zu verkaufen

ID: 293660940
Surface profiler.
KLA/TENCOR Alpha Step 500 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für die anspruchsvollsten Wafermessungen und Charakterisierungen entwickelt wurde. KLA Alpha Step 500 bietet einen hohen Durchsatz und genaue messtechnische Fähigkeiten, so dass es ideal für Halbleiterprozessentwicklung, Qualifizierung und Produktion. Das System verfügt über ein zweiachsiges Objektiv, das auf einer variablen Bühne montiert ist und ihm die Flexibilität gibt, eine Vielzahl von Probengrößen und -typen unterzubringen. Es ist mit einer Abbildungsplatte, einer 16-Bit-Datenerfassungseinheit und einem hochauflösenden Linearmotor ausgestattet. TENCOR ALPHASTEP 500 ist in der Lage, einen Durchmesser von bis zu 8-Zoll-Wafern zu messen. Es bietet sowohl Top-Down als auch Seitenansicht integrierte Bildaufnahme- und Kantenerkennungsfunktionen. Seine fortschrittlichen Signalverarbeitungstechniken, einschließlich Defektsignaturanalyse, werden verwendet, um Fehler auf der Oberfläche des Wafers oder den Rändern der Produkte genau zu identifizieren. Die Einheit wird verwendet, um Parameter wie kritische Bemaßungen, Profil, Überlagerung und Dicke des Materials zu messen. In Bezug auf Automatisierung und Softwarefunktionen umfasst die Maschine zwei benutzerfreundliche Software - KonicaTM zur Bilderfassung und Analyse von Fehlerbildern und Sigma SuiteTM zur Erfassung, Analyse und Anzeige von Daten. Das Tool bietet auch Echtzeit-Histogramme, Echtzeit-Prozesssteuerung, Datentrends, benutzerdefinierte Berichtsgenerierung und Rückverfolgbarkeit nach Seriennummer. Alpha Step 500 verfügt über eine erstklassige optische Leistung und bietet eine Reihe fortschrittlicher Messfähigkeiten, einschließlich Vollspektrum-Prozessfähigkeit, Hochgeschwindigkeitsdatenverarbeitung, hochauflösendes vertikales Profilieren und Messungen, 100nm Wiederholbarkeit und schnelle Z-Höhenverstellbarkeit. Darüber hinaus ist die Anlage nach den IS09000 und ESD-Standards für verbesserte Modellzuverlässigkeit und Sicherheit zertifiziert. Insgesamt ist KLA/TENCOR ALPHASTEP 500 eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik, die modernste Hardware- und Softwarefunktionen bietet. Es liefert schnelle, genaue und zuverlässige messtechnische Ergebnisse, so dass es für verschiedene Halbleiterprozesse und Produktionsanwendungen geeignet ist.
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