Gebraucht KLA / TENCOR Alpha Step 500 #293809046 zu verkaufen

ID: 293809046
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR Alpha Step 500 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die speziell für die schnelle und genaue Prüfung von Halbleiterscheiben und -geräten entwickelt wurde. Es besteht aus einer Funktionseinheit, die eine breite Palette modernster Werkzeuge und Komponenten sowie Software und Hardware beherbergt, die den Prozess der Prüfung der Geräteabmessungen und -leistung optimieren sollen. Das Testsystem verfügt über zwei unabhängige AOI (Automated Optical Inspection) -Systeme, die verschiedene Arten von Defekten auf der Waferoberfläche erkennen können. Jede Einheit ist in der Lage, Merkmalsgröße bis zu 0,3 µm zu erkennen, und kann auch die kleinsten Fehler erkennen. Es sind auch mehrere prozessorientierte Präzisionsmessköpfe enthalten, die eine erhöhte Genauigkeit und Wiederholbarkeit für ein- und doppelseitige Wafertests aufweisen. Die Maschine enthält auch einen Confocal Inspector, ein hochpräzises mikroskopisches Bildgebungswerkzeug, das eine Pin-Point-Lichtquelle und eine fortschrittliche CCD-Kamera verwendet, um eine genaue Fehlererkennung zu gewährleisten. Der Confocal Inspector liefert ein rauscharmes 3D-Bild des Geräts, das dann analysiert werden kann, um verschiedene Eigenschaften zu ermitteln. Das Asset ist zudem mit einem erweiterten Optikpaket ausgestattet, das sich auf Messflächen wie die Kante des Wafers sowie die allgemeine Wafermustererkennung konzentriert. Dieses Paket bietet auch ein hochauflösendes Pixelfunktionsanalysemodell mit einer Pixelgröße von bis zu 0,2 µm zur Analyse von Gerätefunktionen. KLA Alpha Step 500 ist ein hochautomatisierter Prozess mit einer vollen Touchscreen-Benutzeroberfläche, die die Bedienung vereinfacht und eine höchstmögliche Genauigkeit gewährleistet. Die Software enthält auch eine Fernbedienungsoption, die eine vollständige Fernbedienung von jedem Ort aus ermöglicht. Insgesamt ist TENCOR ALPHASTEP 500 ein leistungsfähiges, zuverlässiges und vielseitiges Werkzeug zur genauen und wiederholbaren Analyse von Halbleiterscheiben und -bauelementen. Mit modernsten Funktionen wie automatisierter optischer Inspektion, konfokalem Inspektormikroskop und verbesserter Optik sorgt das Gerät für optimale Ergebnisse für Wafertests und Messtechnik.
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