Gebraucht KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9081303 zu verkaufen

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ID: 9081303
Surface profiler Zoom optics provide magnification: Up to 210X for precise micro measurements Stylus force adjustable: Between 1 and 100mg Scan length: 10mm Resolution: (1) Angstrom Guaranteed repeatability of 10 angstroms 115V, 50/60 Hz.
KLA/TENCOR Alpha Step 500 ist eine Hochleistungs-Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für die Fehleranalyse und Submikron-Prozesssteuerung. Das System soll zur Messung der Flachheit des Wafers, der Kantenqualität, der Waferverdünnung und der Überlagerung auf Submikron-Niveau verwendet werden. KLA Alpha Step 500 verwendet eine Multi-Sensor-Plattform, die Laserinterferometrie, kapazitive und optische Technologien verwendet, um Messungen mit hoher Genauigkeit bereitzustellen. Die Multisensorfähigkeit der Plattform ermöglicht die gleichzeitige Messung mehrerer Wafereigenschaften wie Wafer-Ebenheit, Profil, Überlagerung, Verdünnung und kritische Abmessungen sowie Kantenanalyse. TENCOR ALPHASTEP 500 verfügt über einen modularen Aufbau, mit dem Benutzer das Gerät für bestimmte Anwendungen und Anforderungen konfigurieren können. Die Maschine ist in zwei Größen erhältlich, mit einer Desktop-Konfiguration von bis zu 20 Sensoren oder einer vollständigen zweistufigen Konfiguration mit bis zu 40 Sensoren. Das Tool verfügt auch über eine integrierte Web-Browser-basierte Steuerungsoberfläche, mit der Benutzer das Asset von jedem Web-verbundenen Gerät aus steuern können, sowie ein integriertes Videomodell zur einfachen Anzeige der Waferausrichtung und -qualität. TENCOR Alpha Step 500 verwendet einen fortschrittlichen Mehrstrahl-Sampler, der eine verbesserte Wafer-Charakterisierung sowie zuverlässige und wiederholbare Messungen ermöglicht. Die Messfunktionen des Geräts werden durch fortschrittliche Algorithmen und Automatisierungsfunktionen wie Wafer-Tracing, Scan-Rate-Anpassung und Wafer-Koordinatensätze, die eine konsistente Datenerfassung ermöglichen, weiter verbessert. Das System ist auch in der Lage, automatisierte Selbsttestroutinen für das Unit Health Monitoring zu erstellen, um eine kontinuierliche Leistung zu gewährleisten und kostspielige Servicekosten zu reduzieren. KLA ALPHASTEP 500 ist eine branchenführende Wafer-Prüf- und Messtechnik-Einheit, die zuverlässige und wiederholbare Messungen auf Sub-Micron-Niveau bietet. Die Maschine nutzt einen modularen Aufbau und eine Multi-Sensor-Plattform, damit Benutzer das Tool auf ihre spezifischen Anwendungen und Bedürfnisse konfigurieren können. Die erweiterten Funktionen, wie die integrierte Web-Browser-Schnittstelle, Multi-Beam-Sampler und automatisierte Selbsttestroutinen, stellen sicher, dass das Asset genaue und zuverlässige Ergebnisse liefert.
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