Gebraucht KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9180951 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9180951
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1995
Step height measurement system, 6"
Stylus-based surface profiler
12.5㎛ Stylus
Accurate surface characteristic measurement
With resolution to 1A
Repeatability: 10Å (1s) or 0.1%
With 2D step height metrology profiling
Computer controlled scanning
Data collection
Comprehensive data analysis software
Intuitive user interface
Zoom optics with magnification (70~210X)
Application specific recipes
Multi-scan average mode scans up to 10 times
Averages the scan before print out
Powerful data analysis
With up to 30 standard surface parameters selections
Enables R&D
QA Process control
With step height metrology
Below 50 nm to 300 μm
1995 vintage.
KLA/TENCOR Alpha Step 500 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die hochgenaue berührungslose Messungen der Probentopographie ermöglicht. Es hat eine variable Abtastgröße mit einer Genauigkeit von 0,1 nm, die ein tieferes Verständnis der Oberfläche ermöglicht. Mit einem großen Messfeld von 450 mm x 450 mm und einem breiten Spektrum an Objektiven ist KLA Alpha Step 500 in der Lage, schnelle und hochauflösende Messungen großer Wafer durchzuführen. Es ist ein einfach zu bedienendes System mit einer vertrauten Benutzeroberfläche, so dass eine breite Palette von Benutzern die Technologie effektiv nutzen kann. TENCOR ALPHASTEP 500 verfügt über eine breite Palette von Messfähigkeit, so dass Benutzer hochwertige Bilder von dreidimensionalen Merkmalen erfassen können, so dass feine Details von kleinen Partikeln analysiert werden können. Das Gerät verfügt über eine gut entwickelte Bildverarbeitungseinheit, die eine einzigartige, mehrdimensionale Datenextraktion ermöglicht und Werte wie mittlere Höhen, Schritthöhen, Ebenheit, Steighöhe, Oberfläche, Winkel, Profilbreite, Oberflächenrauhigkeit und Spitzen- bis Spitzenhöhen bereitstellt. Mit fortschrittlicher Software zur automatisierten Probenanalyse ermöglicht ALPHASTEP 500 die automatische Bildsegmentierung und Integration von Daten aus mehreren Messungen. Die hohe Präzision und Genauigkeit von KLA/TENCOR ALPHASTEP 500 sowie seine Anpassungsfähigkeit an eine Vielzahl von Anforderungen und Prüfparametern machen es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Branchen und Anwendungen. Es kann verwendet werden, um Oberflächeneigenschaften von allem, von kleinen transparenten Proben bis zu großen undurchsichtigen Bereichen, sowie Funktionen höherer Ordnung wie Beulen und Linien zu überprüfen und zu messen. In der Halbleiterindustrie wird TENCOR Alpha Step 500 für eine Reihe von Aufgaben eingesetzt, wie die Prüfung polierter Waferoberflächen, die Auswertung von Korngrenzen, die Charakterisierung von Feinoxidschichten oder die Erkennung von Defekten. Darüber hinaus wird die Maschine auch für andere Aufgaben wie optische Zeichenerkennung, Formerkennung oder Etikettenprüfung eingesetzt. Insgesamt ist Alpha Step 500 ein leistungsstarkes Wafer-Test- und Messtechnik-Tool, das hochgenaue, wiederholbare und zuverlässige Messergebnisse liefert. Es ist eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Unternehmen, akademischen und Forschungseinrichtungen sowie Inspektions- und Messeinrichtungen. KLA ALPHASTEP 500 bietet mit seinen vielfältigen Funktionen, der benutzerfreundlichen Benutzeroberfläche und den schnellen Betriebsgeschwindigkeiten eine effektive Lösung für die Messung und Analyse von Wafern und anderen Oberflächenmerkmalen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor