Gebraucht KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9230371 zu verkaufen

KLA/TENCOR Alpha Step 500 ist eine automatisierte Wafer-Prüf- und Messtechnik, die auf die Bedürfnisse der Halbleiterindustrie zugeschnitten ist. Es verwendet fortschrittliche optische Interferometrie und Messtechniken, um Dicke, Krümmung, optische Eigenschaften und andere Materialdetails auf mehreren Wafern mit 200mm und 300mm Durchmesser zu messen. KLA Alpha Step 500 verfügt über eine 3-Achsen-Einstellplattform, die speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde und es ermöglicht, unterschiedliche Wafergrößen und -proben in einer Vielzahl von Messkonfigurationen unterzubringen. Diese Plattform kann bis zu maximal 6 Wafer zur gleichzeitigen Messung unterstützen und ist auch in der Lage, mehrere Wafer gleichzeitig abzutasten. Die Laserausrichteinheit an der Basis des Systems ermöglicht eine genaue Ausrichtung der Wafer auf das Gerät, während die Bewegungsplattform und der Roboter-Autosampler Präzisionsbewegungen und Probenhandhabungsfunktionen bieten. Die Kernmesskomponente der Maschine ist ein integriertes Interferometer, das die präzise hochauflösende (< 1nm) Messung von Proben mit hoher Genauigkeit ermöglicht. Das Design des Interferometers kombiniert ultrapräzise Positioniermechanik mit Resonanzfrequenztechnologie für unübertroffene Stabilität und Genauigkeit. Dieses Interferometer ermöglicht höchste Auflösungsmessungen und ermöglicht auch aberrationsfreie Messungen an gekrümmten und unebenen Oberflächen. Es unterstützt auch eine Reihe von Funktionen wie erweiterte Tool-Level-Diagnose und Wartung Dienstprogramme. Die integrierte Software von TENCOR ALPHASTEP 500 ermöglicht dem Anwender den einfachen Übergang vom Basismessmodus des Asset in den programmierbaren Modus und bietet eine breite Palette von Prozesssicherheit und fortschrittlichen automatisierten Tests. Diese Software umfasst auch Funktionen wie Datenanalyse, Analyse und Trendverfolgung. Neben der integrierten Software ist dieses Modell auch mit einer Vielzahl verschiedener Softwarepakete kompatibel, die auf die spezifischen Bedürfnisse der Anwender zugeschnitten werden können. KLA/TENCOR ALPHASTEP 500 ist ein ideales Werkzeug zur präzisen Waferinspektion und Charakterisierung. Die Kombination aus High-End-Leistungsfähigkeit, integrierter Software und Skalierbarkeit machen es zu einem leistungsfähigen Kapital für jede Halbleiterherstellungsanlage.