Gebraucht KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9300224 zu verkaufen
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ID: 9300224
Weinlese: 2001
Surface profiler
Stylus-based surface profiler adjustable between 1 and 100 mg
Computer controlled scanning and data collection
VGA Monitor zoom optics
Multi-scan average mode scans up to 10 times
Surface parameters selections: Up to 30
Surface characteristic measurement:
With resolution to 1A
2D Metrology profiling: 10Å (1s)
Repeatability enables process control: 0.1%
With step height metrology
Below 50 nm to 300 µm
2001 vintage.
KLA/TENCOR Alpha Step 500 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik für zuverlässige und genaue Messungen. Es verwendet leistungsstarke Software und Hardware, um hochauflösende Messungen der physikalischen Eigenschaften von Halbleiterscheiben durchzuführen. Das System kann sowohl zur zerstörerischen als auch zur zerstörungsfreien Prüfung von dünnen Schichten auf Halbleiterscheiben eingesetzt werden. Zur zerstörungsfreien Prüfung verwendet KLA Alpha Step 500 confocal derived imaging (CDI), das dreidimensionale Bilder der Waferoberfläche erzeugt. CDI-Bilder ermöglichen ein präzises Messen und Verstehen von Oberflächentopografien bis unter 1 nm. Zur zerstörerischen Prüfung wird eine piezoelektrische Kraftmikroskopie (PFM) verwendet, um Waferstrukturen abzubilden und Dünnschichtspannung zu testen. PFM verwendet eine nanoskalige freitragende Sonde, um mit Probenoberflächen zu interagieren und Bilder einzelner Schichten unterhalb der oberen Oberfläche des Wafers zu erstellen. Spannungsmessungen sind notwendig, um die strukturelle Integrität von lebenswichtigen Schaltungen und elektronischen Komponenten sicherzustellen. TENCOR ALPHASTEP 500 verwendet zwei verschiedene Rastersondenmikroskopie (SPM) -Techniken, um Dünnschichtspannung zu messen. Beide Techniken messen die Änderung der Abmessungen einer Probe, da eine Spitze in die Oberfläche gedrückt wird. Aus diesen Messungen können die Spannungsdehnungseigenschaften der Probe bestimmt werden. ALPHASTEP 500 eignet sich auch hervorragend für die Erfüllung des globalen Industriestandards für Post-Metrologie-Analysen und -Überprüfungen. Die Einheit führt eine Vielzahl von Aufgaben durch, einschließlich der Isolierung und Identifizierung von Produkteigenschaften, der gleichzeitigen Analyse und Berichterstattung der Ergebnisse mehrerer Tests sowie der automatisierten Inspektion und Analyse von Waferoberflächen. Schließlich bietet KLA ALPHASTEP 500 branchenführende Leistung, Genauigkeit und Zuverlässigkeit. Es verfügt über eine hochauflösende Bildaufnahmemaschine, einfach zu bedienende intuitive Software und automatisierte Scanfunktionen, um genaue und zuverlässige Messungen über längere Zeiträume zu gewährleisten.
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