Gebraucht KLA / TENCOR Alpha Step D-100 #293607100 zu verkaufen

KLA/TENCOR Alpha Step D-100 ist eine leistungsstarke Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für den Einsatz in der Halbleiterproduktion und Nanotechnologie. Das System ist in der Lage, 2D-optische Inspektion und Messtechnik für eine Vielzahl von Probentypen auf der 100nm-Auflösungsebene. Das Gerät ist mit einer Präzisions-XY-Stufe mit einer Positioniergenauigkeit von 5 µm ausgestattet, die eine hochauflösende Abbildung großer Flächen ermöglicht. Diese XY-Stufe wird durch eine fortschrittliche 5-Achsen-Neigung/Rotation motorisierte Plattform ergänzt, die die detaillierte Untersuchung komplexer Nanostrukturen ermöglicht. Die Maschine umfasst eine proprietäre Röntgenlaser-Wafer-Prüftechnologie, die eine genaue Abbildung sowohl anorganischer als auch organischer Materialien ermöglicht. Diese Technologie basiert auf der Analyse der beim Brennen von Röntgenstrahlen auf das Probenmaterial emittierten Atome, die dann analysiert werden, um ein Bild der Probe zu erzeugen. KLA Alpha Step D-100 umfasst eine breite Palette von bildgebenden Werkzeugen, wie Oberflächentopographie und Fehleranalyse. Dieses Werkzeug hat die Fähigkeit, Oberflächenstruktur, Oberflächenfehler und andere Geometrien mit einer Vergrößerung von bis zu 2000x zu bewerten. Diese Bilder können zur Fehleranalyse und zur präzisen Messung von Submikron-Merkmalen verwendet werden. Die Anlage ist auch mit einer 4-Port Digital Metrology Station ausgestattet. Diese Station verfügt über hochleistungsfähige, hochgenaue lineare Skalen, die sowohl geradlinige als auch gekrümmte Merkmale messen können. Darüber hinaus verfügt diese Station über eine hochgenaue digitale Sonde, die die Datenverarbeitungszeit durch die Integration der automatischen Datenübertragung zwischen den zu messenden Koordinaten und dem Zentralrechner erheblich reduziert. Schließlich verfügt TENCOR Alpha Step D-100 auch über eine Reihe von Software-Tools zur Datenanalyse und -berichterstattung. Diese Software-Suite ist für eine breite Palette von Anwendungen konzipiert, einschließlich Vor-Ort-Inspektion, Prozessentwicklung und Endproduktprüfung. Dies bietet die Flexibilität, detaillierte Berichte mit höchster Genauigkeit zu erstellen und ermöglicht eine maßgeschneiderte Analyse der Daten. Zusammenfassend ist Alpha Step D-100 ein fortschrittliches Wafertest- und Metrologiemodell, das eine schnelle und genaue Abbildung von Materialien auf Nanometerebene ermöglicht. Dieses Gerät umfasst proprietäre Röntgentechnologie, eine breite Palette von bildgebenden Werkzeugen und eine 4-Port Digital Metrology Station sowie Software-Tools zur Datenanalyse und -berichterstattung.