Gebraucht KLA / TENCOR Alpha Step IQ #293593018 zu verkaufen

KLA/TENCOR Alpha Step IQ ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die eine automatisierte Messung elektrischer Eigenschaften über Waferoberflächen mit hohem Durchsatz ermöglicht. Die integrierte Hard- und Software-Suite des Systems ermöglicht es Anwendern, Prozessoptimierungszeiten zu reduzieren und gleichzeitig die Waferqualität zu verbessern. Die Hardware-Komponente der KLA Alpha Step IQ-Plattform umfasst eine Messtechnik-Stufe, ein bildgebendes Modul, ein elektrostatisches Spannfutter und verschiedene Beleuchtungsquellen. Die Bühne ist mit einer hochpräzisen Bewegungssteuerung zur präzisen Abtastung der Probenoberfläche ausgestattet. Die integrierte bildgebende Komponente ist ein hochpräzises optisches Mikroskop mit automatischer Fokuseinstellung und Wellenlängensteuerung. Das elektrostatische Spannfutter bietet eine präzise, gleichmäßige elektrische Umgebung für die Wafer-Prüfung. Und die Beleuchtungsquellen sind so ausgelegt, dass sie selektiv elektrische Eigenschaften oder topographische Merkmale auf der Waferoberfläche erfassen. Die Mess-/Test-/Inspektionsschritte der Messtool-Suite von TENCOR ALPHASTEP IQ ermöglichen eine schnelle Identifizierung von Prozessexkursionen und ermöglichen es Anwendern, Prozessprobleme zu beheben. Es unterstützt eine breite Palette von 2D- und 3D-Messtechniken, einschließlich elektrischer, Restladungsbilder (RCI), spektroskopischer Reflexionsbildgebung (SRI) und Atomkraftmikroskopie (AFM). Für Anwendungen in der Elektromesstechnik ermöglicht die Tool-Suite hochauflösende Messungen der Transistorkanallänge und Gatebreite, Messungen des Kontaktblechwiderstandes (CSR) und der Bogenwiderstandsmapping (SRM) sowie Messungen der Stromspannung (IV) und der Kapazitätsspannung (CV V). Die Software-Suite wurde entwickelt, um Wafer-Fertigungsprozesse zu automatisieren und zu rationalisieren. Es enthält eine Reihe von Algorithmen und Software-Routinen, die die Ausführung von Metrologie-Routinen wie Datenerfassung, Analyse und Berichtsgenerierung erleichtern. Darüber hinaus verfügt die Software über eine Reihe fortschrittlicher Algorithmen zur Mustererkennung und -analyse. Dadurch kann die Maschine Prozessaberrationen schnell erkennen, auch wenn die Proben in Größe, Form oder elektrischen Eigenschaften variieren. Darüber hinaus bietet die Alpha Step IQ-Plattform Konnektivitätsoptionen, einschließlich einer Ethernet-basierten Verbindung, einem analogen Port für Spannung oder Stromausgang und einem Impulsausgang für Bilder, wodurch Benutzer das Tool flexibel in jede Automatisierungs- oder Robotikplattform integrieren können. Um die Funktionen des Asset weiter auszubauen, können Benutzer optionale Module wie ein einziges Wafer-Spektralphotometer hinzufügen. Insgesamt ist KLA/TENCOR ALPHASTEP IQ ein fortschrittliches Wafertest- und Metrologiemodell, das einen hohen Durchsatz, Genauigkeit und Zuverlässigkeit bietet. Seine umfassenden Hardware- und Softwarekomponenten ermöglichen Wafer-Fertigungsanlagen, um Prozessoptimierungszeiten zu verkürzen und die Prozessleistung zu optimieren.