Gebraucht KLA / TENCOR Alpha Step IQ #293610543 zu verkaufen

KLA/TENCOR Alpha Step IQ ist eine Hochdurchsatz-Wafer-Prüf- und Messtechnik, die optimiert ist, um eine effiziente Prüfung, Prozesssteuerung und Gerätecharakterisierung sicherzustellen. Das System bietet erweiterte Inspektionsmöglichkeiten bei gleichzeitiger Aufrechterhaltung robuster Fertigungsfunktionen durch genaue, wiederholbare und rückverfolgbare Messungen einer Reihe von Mustern. KLA Alpha Step IQ beinhaltet bis zu zwei unabhängige Prozesskammern und fortschrittliche Software-Algorithmen, um schnelle und genaue Messungen der Gerätetopographie, wie kritische Abmessungen und Linien-/Raumbreiten, zu ermöglichen. Das Gerät bietet eine schnelle und zuverlässige Inspektion einer Vielzahl von Prozessschritten, einschließlich Lithographie, Ätz- und Filmabscheidung. Mit fortschrittlicher optischer Mikroskopie kann TENCOR ALPHASTEP IQ Oberflächenrauheit, Ätztiefen, CD-Gleichmäßigkeit, Widerstandsdicke und Linien-/Raumbreiten mit größerer Genauigkeit und Geschwindigkeit als herkömmliche optische Mikroskope messen. Spiegeldiagnostik und Bildgebung sorgen für höchste Messgenauigkeit. TENCOR Alpha Step IQ integriert chromlosen Metrologie-Modus für unübertroffene Wiederholbarkeit und Genauigkeit der kritischen Dimensionen, auch bei anspruchsvollen Chip-Design.. Die fortschrittlichen Software-Algorithmen, die auf die Inspektions- und Profildaten angewendet werden, helfen dabei, enge CD-Spezifikationen aufrechtzuerhalten. Die Maschine enthält auch optische Overlay-Messung, um eine hochgenaue Prozesssteuerung zu gewährleisten. Zusätzlich zu diesen Funktionen bietet KLA/TENCOR ALPHASTEP IQ erweiterte Berichtsfunktionen, einschließlich einer Reihe von Graphik- und Anzeigeoptionen, um ein vollständiges Bild der Prozessergebnisse zu gewährleisten. Durch den Einsatz einer statistischen Prozesssteuerung kann das Tool individuelle Prozessabweichungen identifizieren und den gesamten Prozess analysieren und die Mittel zur schnellen Isolierung, Untersuchung und Reaktion auf mögliche Prozessfragen bereitstellen. Abschließend ist Alpha Step IQ ein fortschrittliches Wafer-Test- und Metrologie-Asset, das eine hocheffiziente, genaue und zuverlässige Methode für die Waferbearbeitung und Gerätecharakterisierung bietet. Das Modell bietet schnelle und genaue Messungen einer Reihe von Mustern, von kritischen Abmessungen und Linien-/Raumbreiten bis hin zu Oberflächenrauhigkeiten, Ätztiefen und Widerstandsdicke. Die fortschrittlichen Software-Algorithmen helfen, enge CD-Spezifikationen und die Analyse des gesamten Prozesses beizubehalten, hilft bei der schnellen Identifizierung und Reaktion auf potenzielle Prozessprobleme.