Gebraucht KLA / TENCOR Alpha Step IQ #293647760 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
KLA/TENCOR Alpha Step IQ ist eine automatisierte Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur Inspektion und Messung von Eigenschaften im Nanometermaßstab auf Halbleiterscheiben. KLA Alpha Step IQ vereint zahlreiche Funktionen wie 3D-optische Mikroskopie, konfokale Mikroskopie, kritische Dimensionsrasterelektronenmikroskopie (CD-SEM) und Bildanalyse-Tools, um einen schnellen, genauen und wiederholbaren Wafer-Inspektionsprozess zu erreichen. Das System ist gut geeignet für die Verarbeitung einer Vielzahl von Wafertypen und -größen, einschließlich 300mm und 200mm Durchmesser dielektrische und optische Mikrolithographie-Wafer. Das integrierte optische 3D-Mikroskop wurde entwickelt, um Bilder von Funktionen bis zu einer Größe von 5 nm aufzunehmen, während das konfokale Mikroskop Funktionen bis zu 3 nm aufnehmen kann. Darüber hinaus ist das CD-SEM in der Lage, kritische Abmessungen (CD) und Materialien Gleichmäßigkeit mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu messen. Das Gerät bietet auch eine Reihe von leistungsfähigen Software-Tools zur Ergänzung seiner Wafer-Inspektion Fähigkeiten. Die Software-Suite umfasst eine Reihe fortschrittlicher Bildverarbeitungsalgorithmen, erweiterte Fehleranalysetools und Bildnahtfunktionen. Diese Tools wurden entwickelt, um den Zeitaufwand für die Datenanalyse zu minimieren und die Benutzergenauigkeit und Produktivität zu erhöhen. TENCOR ALPHASTEP IQ verfügt auch über eine Reihe von automatisierten Funktionen, die die Waferinspektion erleichtern sollen. Automatisierte optische Navigation macht die Navigation zwischen gescannten Bildern schneller und effizienter. Durch die automatische Kalibrierung wird sichergestellt, dass jeder Abbildungsschritt mit Spitzengenauigkeit durchgeführt wird. Darüber hinaus stellen die Funktionen Automatische Strahlerkennung und Autofokus sicher, dass jedes Bild automatisch genau und gründlich fokussiert wird. ALPHASTEP IQ kann auch an bestimmte Wafer angepasst werden und bietet dem Benutzer maximale Flexibilität. Anpassbare Softwareeinstellungen ermöglichen es Benutzern, die Maschine an ihre spezifischen Anforderungen zu optimieren. Damit ist KLA ALPHASTEP IQ eine ideale Wahl für Präzisions-Wafer-Inspektions- und Messanwendungen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor