Gebraucht KLA / TENCOR Alpha Step IQ #293671815 zu verkaufen

KLA/TENCOR Alpha Step IQ ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für dreidimensionale optische Inspektionen verwendet wird. Es besteht aus einem hochgenauen und hochpräzisen Stufenhöhenmessmodul, einem Hochgeschwindigkeits-Vollfeldmikroskop und einem Mustererkennungsmodul mit fortgeschrittenen Analysealgorithmen zur Fehlererkennung, Fehlerklassifizierung und Prozessüberwachung. Das System ist für die Inspektion von Vollfeld-, topographischen und optisch kritischen Defekten auf Halbleiterscheiben und Substraten ausgelegt. Das optische Vollfeldmikroskop besteht aus einer hochauflösenden, hochempfindlichen Stereokamera, einer rauscharmen CCD-basierten Detektionseinheit und einer hochgenauen, automatischen Positioniermaschine. Dieses kombinierte Werkzeug erfasst exakt die Topographie und Fehlerbilder der Waferoberfläche. Es kann auch hochauflösende Sonden und Nanoprobe für zusätzliche messtechnische Messungen detektieren und analysieren. Das hochgenaue und hochpräzise Stufenhöhenmessmodul misst die rasierende Dünnflächentopographie des Wafers mit höchster Genauigkeit und Präzision. Dieses Modul Zoll kann winzige Stöße und Bearbeitungsartefakte auf der Waferoberfläche erkennen und eine hohe Prozess-/Produktkontrolle gewährleisten. Darüber hinaus ist diese Eigenschaft in der Lage, die Höhe und die seitlichen Abmessungen von Materialmerkmalen zu messen, die für die Herstellung von mikroelektronischen Bauelementen von entscheidender Bedeutung sind. Das Mustererkennungsmodul verwendet fortgeschrittene Algorithmen zur Fehlererkennung und -klassifizierung. Darüber hinaus kann dieses Modul auch Messungen kritischer Prozessparameter zur Prozessüberwachung und -charakterisierung automatisieren. Dieses Modell kann physikalische Defekte wie Partikel, Kratzer und Mikrohosen erkennen und klassifizieren. Darüber hinaus ist das Mustererkennungsmodul in der Lage, die einzigartigen optischen Signaturen von Defekten wie Kristalldefekten, Delaminationen, Oxidation und Abheberückständen zu analysieren. KLA Alpha Step IQ ist in der Lage, topographische Eigenschaften von flachen Wafern sowie komplexe topographische Muster mit einer breiten Palette von topographischen Profilen wie Waferbogen und Wafer-Neigung zu messen. Darüber hinaus ist das Gerät in der Lage, berührungslose messtechnische Messungen wie Merkmalsgröße, Seitenverhältnis und Topographie durchzuführen. Es ist auch in der Lage, optische Eigenschaften von Wafern wie Reflektivität, Durchlässigkeit und Brechungsindex zu messen. Insgesamt ist TENCOR ALPHASTEP IQ ein fortschrittliches Wafertest- und Messtechniksystem, das im Vergleich zu anderen Systemen seiner Klasse eine verbesserte Genauigkeit und Leistung bietet. Seine Genauigkeit, Präzision und Fehlererkennung machen es zu einer idealen Wahl für die Halbleiterherstellung.