Gebraucht KLA / TENCOR Alpha Step IQ #293673412 zu verkaufen

KLA/TENCOR Alpha Step IQ ist ein automatisiertes Prüf- und Messtechnikwerkzeug zur Messung der Dünnschichtdicke und anderer Eigenschaften von Halbleiterscheiben. Zur schnellen Profilierung von Oberflächen verwendet das Gerät ein fortschrittliches Interferometer mit der Auflösung des Winkels und eine Lochmembran. KLA Alpha Step IQ wurde entwickelt, um Proben ohne Probenvorbereitung zu messen. Es kann leicht Düsen-zu-Düsen-Variationen, Verunreinigungen, Rauheit, Filmkorn, Filmdicke und andere Oberflächenabdeckungen messen. Das System nutzt Infrarotlicht einer He-Ne-Laserquelle, um sichtbare Interferenzmuster zu erzeugen, die mit einem CCD-Kamerasensor erfasst werden. Durch Analyse der Interferenzmuster können die Wafereigenschaften genau gemessen werden. Die ausgeklügelten Algorithmen von TENCOR ALPHASTEP IQ verwenden 1-D und 2-D Fast Fourier Transform, um die Interferenzfransenmuster zu analysieren und Grenzflächendaten von der Oberfläche des Wafers zu extrahieren. Diese Daten werden in Dickenkarten der Waferflächen übersetzt, aus denen die Dicke der oberen und unteren Schicht bestimmt wird. ALPHASTEP IQ bietet mehrere Hardwarekonfigurationen für kritische messtechnische Anwendungen, wie die Messung von Dünnschichtstapeln, Trägerwafern und MEMS-Komponenten. Durch spezielle Konfigurationen kann das Gerät sogar dreidimensionale Strukturen und Geräte in drei Achsen messen. KLA/TENCOR ALPHASTEP IQ ist auch in der Lage, schnell scannende Messungen von Oberflächen an Sub-Mikron-Profilen bereitzustellen. TENCOR Alpha Step IQ ist aufgrund seiner überlegenen messtechnischen Fähigkeiten eine wertvolle Ergänzung des UCK-Portfolios. Seine vollautomatisierte Leistung macht manuelle Messungen überflüssig, wodurch Fehler reduziert und die Effizienz bei der Messung von Halbleiterscheiben verbessert wird. Die Maschine bietet zudem einen höheren Durchsatz und eine reduzierte Taktzeit im Vergleich zu manuellen Messgeräten. Darüber hinaus bietet KLA ALPHASTEP IQ volle Kompatibilität mit TENCOR integrierten Software-Tools, die eine optimierte Datenanalyse, automatisierte Analyse und Reporting ermöglichen.