Gebraucht KLA / TENCOR Alpha Step IQ #293682500 zu verkaufen

ID: 293682500
Weinlese: 2010
Surface profiler 2010 vintage.
KLA/TENCOR Alpha Step IQ ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik, die Waferoberflächenmerkmale mit unübertroffener Genauigkeit und Wiederholbarkeit messen kann. Im Kern setzt KLA Alpha Step IQ auf modernste patentierte Technologie, um den Wafer über ein Scanbett zu transportieren, das dann mit seinen Lasern die Oberflächenmerkmale bis auf Nanometerebene untersucht und abbilden kann. Photodioden werden verwendet, um die Reflexion von jedem Messpunkt zu messen, um die Topographie der Waferoberfläche zu bestimmen. Mit dieser Photodiodenmessung wird eine dreidimensionale „Kontur“ -Karte der Oberfläche des Wafers erstellt. Diese Konturkarte stellt die Form und Oberflächentopographie des Wafers umfassend und sehr detailliert dar. Dieses System ist in der Lage, eine Vielzahl von Waferoberflächenmerkmalen zu messen, einschließlich Schritthöhe, Profil, Krümmungsradius, Neigung und Ebenheit. Die Genauigkeit dieser Messungen ist bemerkenswert, wobei die Wiederholbarkeit in den meisten Anwendungen typischerweise besser als 0,5 nm ist. Mit hochentwickelter Elektronik und Optik ermöglicht die TENCOR ALPHASTEP IQ-Einheit extrem schnelles Scannen - in der Regel dauert es nur wenige Sekunden, um eine Messung über einen gesamten 200mm Wafer abzuschließen - und ermöglicht einen schnellen Durchsatz und Prozessrückmeldung. Die Maschine bietet auch leistungsstarke eingebaute Analysen, die eine ausgefeilte statistische Analyse der Prozessergebnisse über verschiedene Wafer-Losgrößen hinweg mit Leichtigkeit ermöglichen. Zusätzlich stehen Offline-Analysewerkzeuge zur weiteren Prozessoptimierung zur Verfügung. Schließlich enthält Alpha Step IQ eine breite Palette von Zubehör, einschließlich spezialisierter Vorrichtungen und Sondierungsarme, die Flexibilität in den Messtechniken und Kompatibilität mit den meisten heute verfügbaren Wafer-Prüf- und Messtechnik-Geräten ermöglichen. Insgesamt ist ALPHASTEP IQ ein vielseitiges und leistungsstarkes Wafer-Test- und Messtechnik-Tool, das hochgenaue Messungen bereitstellt und beispiellose Prozessoptimierungsfunktionen bietet.
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