Gebraucht KLA / TENCOR Alpha Step IQ #9229842 zu verkaufen

KLA/TENCOR Alpha Step IQ ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur fortschrittlichen Prozesssteuerung der Halbleiter-Nanolithographie. Es verfügt über eine Reihe von leistungsstarken Funktionen, die sicherstellen, dass die für den modernen Halbleiterherstellungsprozess erforderlichen Qualitätsniveaus eingehalten werden. KLA Alpha Step IQ ist ein bildgebendes System, mit dem Benutzer Bilder einer kompletten Waferoberfläche mit Nanometerauflösung erstellen können. Es nutzt hohe NA (numerische Apertur) -Optik, erleichtert durch spezialisierte Strahllieferung und bildgebendes Zubehör, um sowohl die obere als auch die untere Oberfläche des Wafers zu inspizieren. Die Einheit kann eine Vielzahl von Funktionen erkennen, von Submikron-Funktionen bis hin zu größeren Gräben und anderen Strukturen. Der Scankopf wird durch eine X-Y servo-gesteuerte Motorstufe bewegt, die dem Anwender eine beeindruckende Fähigkeit bietet, Merkmale an einer Vielzahl von Wafergeometrien zu messen und zu analysieren. Die Maschine ist in der Lage, eine große Anzahl von Schlüsselmetriken im Zusammenhang mit der Waferoberfläche zu messen, einschließlich Seitenverhältnis, kritische Dimension, Linienbreite Rauheit, Seitenwandwinkel und mehr. Diese Datenpunkte können dann über die Benutzeroberfläche grafisch dargestellt oder zur Erstellung einer 3D-Karte der Waferoberfläche verwendet werden. Es stehen auch erweiterte Analysen zur Verfügung, mit denen Untermikron-Variationen in Höhen, Winkeln und anderen Funktionen erkannt werden können. Eine Reihe zusätzlicher Funktionen machen TENCOR ALPHASTEP IQ zu einem wirklich leistungsstarken Wafer-Test- und Messtechnik-Tool. Bildverarbeitungsfunktionen können durch Optionen nach dem Prozess verbessert werden, einschließlich kartenbasierter Analyse und Autofokus. Zusätzlich können Bilddaten erfasst und zur Nachanalyse gespeichert werden. Das Asset umfasst auch automatisierte Wafer-Ausrichtungsfunktionen für eine verbesserte Genauigkeit. Insgesamt ist KLA ALPHASTEP IQ ein hochentwickeltes Wafertest- und Metrologiemodell, das sich ideal für die Prozesssteuerung und Halbleiter-Nanolithographie eignet. Es bietet eine leistungsstarke Kombination aus bildgebenden und analytischen Eigenschaften, so dass es in der Lage, eine breite Palette von Funktionen auf einer Vielzahl von Wafergeometrien zu erkennen. Darüber hinaus bieten die automatisierten Ausrichtungsfunktionen und Nachbearbeitungsoptionen eine zusätzliche Ebene von Genauigkeit und Genauigkeit der Analyse.