Gebraucht KLA / TENCOR ASET F5 #293605775 zu verkaufen
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ID: 293605775
Weinlese: 2000
Film thickness measurement system
Single open cassette, 8"-12"
DUV Lamp
Summit 5.2
DBS SE
PatMax
Operating system: Windows XP
2000 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für einen hohen Durchsatz und eine genaue Analyse für integrierte Schaltungen ausgelegt ist. Das System ist in der Lage, optische Inspektion, Fehlerüberprüfung und eine Vielzahl anderer Tests durchzuführen. Die KLA- ASET-F5 wurde entwickelt, um die Ausbeute bei hochvolumigen Waferfoundries und fortschrittlichen Herstellungseinrichtungen für Halbleiterbauelemente zu maximieren. Das Gerät nutzt modernste Technik, wie die optische Inspektionsmaschine TruMap und die AlphaStep Surface Metrology. Das TruMap-Tool verwendet hochauflösende Optik, um einen Wafer zu „trumap“, die Fehlererkennung und Erkennung von Top-Level-und High-Seitenverhältnis Fehler ermöglicht. TruMap ermöglicht auch einen sehr effizienten Fehlerüberprüfungsprozess. Die AlphaStep-Oberflächenmesstechnik misst physikalische Parameter wie Widerstand und Flächenwiderstand. Dies geschieht zerstörungsfrei und berührungslos, was eine genauere Darstellung der Merkmalsmuster eines Wafers ermöglicht. Diese Anlage ist in der Lage, zwischen Messungen des Waferwiderstandes und des Flächenwiderstandes zu wechseln und bietet so die Möglichkeit für mehr Flexibilität und Genauigkeit. TENCOR ASET F 5 Modell enthält auch eine hochauflösende bildgebende Ausrüstung für die Fehlerüberprüfung. Dieses System ermöglicht eine schnelle Überprüfung und Identifizierung von Fehlern. Das Gerät umfasst Funktionen wie Schmalband-Bildgebung, Linien-Scan-Bildgebung, Full-Wafer-Mapping und Defekt-Orientierung Karten. Alle diese Funktionen bieten Benutzern eine vollständige Ansicht des Wafers und seiner Oberfläche. Außerdem verfügt die Maschine über ein hochpräzises Ausbeute-Überwachungswerkzeug. Dieser Vermögenswert überwacht die Erträge prozessweise und kann frühzeitig vor möglichen Fehlern oder Problemen auf einem Gerät warnen. Ertragsüberwachungssysteme sind von unschätzbarem Wert für die Aufrechterhaltung und Optimierung des Prozesses, um hohe Erträge und Gerätequalität zu gewährleisten. Schließlich enthält das ASET-F 5 Modell auch einen Secure Event Recorder. Dieser Recorder kann verwendet werden, um Aufzeichnungen über alle Wafer-Test- und Metrologie-Operationen zu führen, so dass Benutzer alle Geräte- oder Prozessprobleme zurückverfolgen und sicherstellen können, dass nur Qualitätsgeräte produziert werden. Zusammenfassend ist KLA/TENCOR ASET F 5 eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für einen hohen Durchsatz und eine genaue Analyse für integrierte Schaltungen ausgelegt ist. Es nutzt die neueste Technologie mit Funktionen wie TruMap optische Inspektion, AlphaStep Surface Metrology, hochauflösende Bildgebung und eine sichere Ereignisaufzeichnung. Dieses System bietet eine umfassende Plattform zur Erzielung hoher Erträge und Gerätequalität und ermöglicht es Herstellern, die Erträge bei hochvolumigen Wafergießereien zu maximieren.
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