Gebraucht KLA / TENCOR ASET F5 #293814192 zu verkaufen

KLA / TENCOR ASET F5
ID: 293814192
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR ASET F5 ist eine automatisierte Wafer-Prüf- und Messtechnik, die in der Halbleiterherstellung eingesetzt wird. Das System wurde entwickelt, um einen schnellen Durchsatz und eine genaue Analyse einer Vielzahl von Waferparametern zu ermöglichen. Es ist in der Halbleiterindustrie weit verbreitet, aufgrund seiner Fähigkeit, mehrere Wafer parallel mit minimaler Arbeitsbelastung und Benutzereingriff zuverlässig zu bearbeiten. KLA ASET-F5 verwendet ein Interferometer mit einem integrierten Optikmodul und einer CCD-Kamera, um eine Reihe von Parametern genau zu messen, einschließlich Waferdünnheit, Dickenvariation, Ebenheit, Parallelität, Koplanarität, Kette und sogar Rundheit. Es enthält auch eine Oberflächenabbildungseinheit, mit der die Oberfläche der Wafer auf Fehler überprüft werden kann. Die Maschine ist darauf ausgelegt, eine große Anzahl von Wafern in kurzer Zeit schnell zu messen. Wafer unterschiedlicher Größe können auf das Werkzeug geladen werden, und die Erkennungsrate kann angepasst werden, um Ausfallzeiten zwischen Chargen zu reduzieren. Das Asset verfügt außerdem über ein automatisiertes Wafer-Handling-Modell, das Wafer entweder auf das Gerät laden oder ohne Eingriff des Bedieners entladen kann. TENCOR ASET F 5 ist in der Lage, eine Vielzahl von Wafertypen und Materialien zu analysieren. Es kann Wafer mit verschiedenen Hintergründen, Materialien und Strukturen, einschließlich Quarz-Wafer, Si-Wafer, Hochtemperatur-Übergangsmetall-Wafer und viele andere genau messen. Es kommt auch mit einer Vielzahl von einstellbaren Parametern, die verwendet werden können, um Messungen für verschiedene Arten von Wafern zu optimieren. Das System verfügt auch über eine integrierte Software-Suite, mit der Benutzer das Gerät steuern, maßgeschneiderte Messpläne erstellen und Ergebnisse analysieren können. Mit dieser Software können Anwender ganz einfach benutzerdefinierte Berichte erstellen, mit denen sie Trends bei Waferparametern analysieren und die Leistung über verschiedene Produktionschargen hinweg verfolgen können. Diese Software ermöglicht auch Fernzugriff für Fernüberwachung oder -steuerung. Insgesamt ist ASET-F5 darauf ausgelegt, präzise, automatisierte Tests einer Vielzahl von Wafern schnell und effizient zu ermöglichen. Die automatisierte Wafer-Handhabungsmaschine, die vielseitige Erkennungsrate, die integrierte Software-Suite und die Fähigkeit, eine Vielzahl von Wafertypen zu messen, machen es zu einem leistungsstarken und zuverlässigen Werkzeug für Produktionslinien in der Halbleiterindustrie.
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