Gebraucht KLA / TENCOR ASET F5 #293825602 zu verkaufen
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ID: 293825602
Wafergröße: 8"-12"
Weinlese: 1999
Film thickness measurement system, 8"-12"
Wafer holder and chuck
Robot and handler
Laser
Blower unit
Card cage and board
Cassette type: F5W
PC
1999 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die entwickelt wurde, um die Waferleistung auf einem extrem kleinen Niveau zu testen. Es kombiniert fortschrittliche AFM (Atomic Force Microscopy) und elektrische Testfunktionen, um einen umfassenden Überblick über kritische Geräteparameter zu erhalten. Das System ist in der Lage, Funktionen bis in den 10nm-Auflösungsbereich zu überprüfen und ist mit einer kompletten Suite integrierter Testlösungen ausgestattet. KLA ASET-F5 Einheit bietet mehrere Hauptmerkmale, die es ermöglichen, hochgenaue Leistungsergebnisse zu liefern. Die erste dieser Funktionen ist die erweiterte bildgebende Fähigkeit, die es der Maschine ermöglicht, klare und detaillierte Bilder von Merkmalen auf mikroskopischer Ebene zu machen. Das bildgebende Tool verwendet eine breite Palette von AFM-Sonden, einschließlich variabler Fokus, omnidirektionaler und dynamischer Scansonden, um die beste Bildqualität für eine Reihe von Anwendungen zu gewährleisten. Die hohe Auflösung des bildgebenden Gerätes ermöglicht auch hochempfindliche Messungen. TENCOR ASET F 5 enthält auch leistungsstarke elektrische Testfunktionen, darunter eine breite Palette von Spannungs-, Strom-, Widerstands- und Kapazitätstests. Das fortschrittliche elektrische Testmodell kombiniert Hardware-, Software- und Kalibrierwerkzeuge, um genaue und zuverlässige Ergebnisse bei der Bewertung der Waferleistung zu gewährleisten. In Bezug auf Abrieb- und Verschmutzungsprüfung bietet die Anlage sehr wiederholbare Ergebnisse. Es ist in der Lage, Fehler zu erkennen, die mit dem bloßen Auge nicht sichtbar sind, und kann auch die Kraft des Kontaktierens Sonden so klein wie 10um auf integrierten TDR (Time Domain Reflectometry) Spuren messen. Das System verfügt außerdem über erweiterte Partikelanalysefunktionen, die es Anwendern ermöglichen, Partikel bis auf 2 nm zu erkennen und zu identifizieren sowie die Umweltauswirkungen von Partikelverunreinigungen zu bewerten. TENCOR ASET-F5 ist für den automatisierten Betrieb als eigenständige Einheit oder für die Integration mit anderen Systemen konzipiert. Es verfügt über ein RS-232 Kommunikationsprotokoll mit einstellbaren Timeout-Einstellungen. Die Maschine hat einen großen Betriebsbereich von 0 bis 50 ° C, und mit dem optionalen Betriebskühlmodul können mehr als 15 Betriebsstunden ohne Unterbrechung erreicht werden. TENCOR ASET-F 5 ist ein leistungsfähiges und umfassendes Wafer-Prüf- und Messtechnik-Tool, das eine vielseitige Palette von bildgebenden und elektrischen Testfunktionen für die Wafer-Leistungsbewertung bietet. Sein automatischer Betrieb und leistungsstarke AFM- und elektrische Testfunktionen machen es ideal für eine Reihe von Branchen, von Halbleitern und Materialwissenschaften bis hin zu Forschung und Entwicklung.
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