Gebraucht KLA / TENCOR ASET F5x #293826779 zu verkaufen
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ID: 293826779
Wafergröße: 12"
Film thickness measurement system, 12"
DBS and SE
Lens: 1x, 4x, 15x
Automated wafer loading/unloading
FOUP Handler and processor
FOUP Loading and unloading port
Controlled XY stage
Wafer breakage rate: <1 per 25,000
Diameter: 300±2.0 mm
Thickness: 775 ±20 μm
Edge exclusion: 1.5 mm
Wavelength: 220 to 780 mm
SEMI and CE Certification
LCD monitor
PC.
KLA/TENCOR ASET F5x ist eine automatisierte Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um die Geschwindigkeit, Genauigkeit und Ausbeute der Halbleiterbauelementproduktion zu erhöhen. Dieses System ist in der Lage, alle Bereiche eines Wafers zu inspizieren und seine genauen Abmessungen zu messen, die schnelle Anpassungen in der Produktion ermöglichen. Es führt auch Testmusterläufe und andere messtechnische Funktionen wie die Messung der Leitfähigkeit, Gleichmäßigkeit und Ebenheit des Geräts. KLA ASET-F5X nutzt hochpräzise Scanstufen, um Wafer mit hoher Genauigkeit zu prüfen und zu messen. Die Stufen können die Wafer sowohl in x- als auch in y-Richtung bewegen, was eine vollständige Abdeckung des gesamten Bereichs ermöglicht. Die Stufen weisen auch eine Drehpositionierung auf, wodurch die Einheit die dreidimensionale Gerätegeometrie messen kann. Die Stufen werden von bürstenlosen Motoren angetrieben, die extrem schnelle und reibungslose Transformationen mit hoher Präzision und Kontrolle ermöglichen. Die Maschine verfügt auch über fortschrittliche Software, die die genaue Anpassung von Inspektions- und Testverfahren ermöglicht. Dazu gehören automatische Bilderkennung, Musteridentifikation und Wafer/Gerätetest. Die Software kann auch Daten verfolgen und detaillierte Produktionsberichte erstellen. TENCOR ASET F 5 X ist für den Einsatz in Serienumgebungen konzipiert, in denen Genauigkeit und Geschwindigkeit unerlässlich sind. Es kann ferngesteuert werden oder manuell und hat zahlreiche Sicherheitsmerkmale, wie Stau/thermische Sensoren und Überheizung/Spannungsschutz. Dieses Werkzeug ist auch extrem zuverlässig und kostengünstig, so dass es eine gute Wahl für jede Produktionsstätte.
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