Gebraucht KLA / TENCOR ASET F5x #9182371 zu verkaufen
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ID: 9182371
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Film thickness measurement system, 8"
2000 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5x ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur Messung der physikalischen Eigenschaften moderner Halbleiterbauelemente. Seine erweiterten Optik- und Bildgebungsfunktionen ermöglichen es ihm, Parameter wie KE-Größe, Topographiehöhe und -breite sowie Fehlerdichte und -position genau zu erfassen und zu messen. Dieses leistungsstarke System analysiert schnell eine große Anzahl von Proben und bietet eine fortschrittliche Analyse, um die Geräteherstellung und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Die KLA verwendet ASET-F5X ein optisches Mikroskop zur Abbildung von Probenscheiben. Das Mikroskop ist mit einer Vielzahl von Objektiven für verschiedene Arbeitsarten ausgestattet, so dass der Benutzer die am besten geeignete Vergrößerung und Auflösung auswählen kann. Darüber hinaus ermöglicht eine motorisierte Probenstufe eine unabhängige X- und Y-Achsen-Abtastung von Proben in voreingestellten Höhen und Tiefen. TENCOR ASET F 5 X integriert fortschrittliche automatisierte Inspektionstechnologie und verwendet eine Reihe von Algorithmen, um eine Vielzahl von Fehlern zu erkennen. Es ist in der Lage, Beulen, offene Defekte, Gruben, Kratzer, Mikrorisse und andere Strukturen mit minimalem menschlichen Eingriff zu erkennen. Die dreidimensionale (3D) Formerfassungsfähigkeit sorgt dafür, dass sich Defekte präzise auf dem Wafer befinden und die Ergebnisse genau gespeichert und präsentiert werden. Das F5x ist eine fortschrittliche Metrologie-Einheit, ausgestattet mit führenden Kalibrier- und Messfähigkeiten. Es ist in der Lage, die Geometrie eines Wafers genau zu messen und detaillierte topographische Karten und Daten bereitzustellen. Seine hochgenauen messtechnischen Eigenschaften basieren auf einer proprietären Triangulationsmethode namens Resistive Scanning Laser Interferometry (RSLI). Diese Methode erkennt schnell das Vorhandensein von Defekten bis zu einem Nanometer Größe. KLA hat KLA/TENCOR ASET F 5 X mit Blick auf Ergonomie und Benutzerfreundlichkeit entworfen. Die Maschine verfügt über eine Reihe von hellen, klaren LCD-Bildschirmen, die es Anwendern ermöglichen, Operationen ohne Belastung zu überwachen. Darüber hinaus verfügt das Tool über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI) für den einfachen Zugriff auf die zahlreichen Funktionen und Funktionen. Alles in allem ist die KLA ASET F 5 X eine beeindruckende Komponente für Wafertests und Messtechnik. Es bietet eine Fülle von erweiterten Funktionen und Funktionen, wie automatisierte Fehlererkennung, Topographiemessung und erweiterte Messtechnik. Das benutzerfreundliche Design und die intuitive GUI machen es zu einem leistungsstarken und dennoch einfachen Werkzeug für Wafertests und Messtechnik.
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