Gebraucht KLA / TENCOR ASET F5x #9229841 zu verkaufen
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ID: 9229841
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
Thin film measurement system, 12"
Dual cassette open handler
Wafer handling, 6"
Wafer handling with handler charge, 12"
Spectroscopic ellipsometer
Pattern recognition
Operating system: Windows XP
Computer: Pentium 1.25 GHz
SCSI Hard drive: 80 GB
DVD/RW Drive
DRAM: 1 GB
Flat panel LCD display
Keyboard and trackball
Ethernet PCIA Card
Multi layer film capacity
Micro spot optics
Scanning stage
Wafer mapping
In-situ capability
Controller type: PC / VME
Operator manual
DBS Spot sizes: 2.7, 10, 40 um
XENON Light source
Wavelength range: 220 nm to 800 nm
2003 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5x ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die kostengünstige, hohe Durchsätze und genaue Messungen von Halbleiterscheiben bietet. Dies ermöglicht eine schnelle und genaue Analyse der Produktionsprozessleistung und -erträge. Das System besteht aus mehreren Teilsystemen, einschließlich optischer Bildgebung, Messtechnik und Fehlerüberprüfung. Das optische Subsystem nutzt eine umfassende, hochmoderne Display-Technologie, die eine überlegene Auflösung und Erkennung von Defekten am Wafer ermöglicht. Dies beinhaltet die Verwendung von CMOS-Sensoren (Charge-Coupled Device) mit hoher Quanteneffizienz und verbesserten Hintergrundrauschpegeln, um eine verbesserte Genauigkeit und Kontrast zu erzielen. Neben der optischen Bildgebung bietet das Gerät auch eine einzigartige Kombination von Bildanalyse-Algorithmen, um die Klassifizierung zu optimieren und potenzielle Fehler zu erkennen. Das Metrologie-Subsystem ermöglicht eine hochpräzise Bestimmung kritischer Geräteparameter. Es ist in der Lage, aus einer großen Fläche zu probieren und den Durchsatz einer Reihe von Wafergrößen und -dicken zu bewerten. Diese Maschine bietet darüber hinaus eine überlegene Wafer-Abbildung sowie die Möglichkeit, einen bestimmten Bereich eines Wafers mittels Vollfeldabbildung detailliert zu charakterisieren. Das Fehlerüberprüfungs-Subsystem integriert erweiterte Bildqualitätsmetriken und statistische Fehlerüberprüfungstechniken, um mögliche Probleme genau zu identifizieren und zu klassifizieren. Es ist in der Lage, eine vollständige Analyse von Fehlertyp, Trend, Vorkommen, Region, Herkunft und Ort zu liefern. Das Subsystem bietet außerdem eine leistungsstarke Softwarelösung zur effizienten Verwaltung und Verfeinerung von Testrezepten, um sicherzustellen, dass mögliche Probleme schnell erkannt werden. Abschließend ist KLA ASET-F5X Wafer Testing and Metrology Tool ein fortschrittliches Instrument, das zuverlässige, genaue und kostengünstige Messungen von Halbleiterscheiben bietet. Die Anlage ermöglicht eine effiziente Kontrolle des Produktionsprozesses, reduziert Abfälle und verbessert die Erträge. Die hochpräzise Bildgebung, Messtechnik und Fehlerüberprüfung machen es zu einem unschätzbaren Werkzeug für jede Halbleiterherstellungsanlage.
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