Gebraucht KLA / TENCOR ASET F5x #9232878 zu verkaufen
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ID: 9232878
Wafergröße: 8"
Film thickness measurement system, 8"
Dual cassette open handler
Wafer handling, 6"
Wafer handling with handler charge, 12"
Spectroscopic ellipsometer
Pattern recognition
Operating system: Windows XP
Computer: Pentium 1.25 GHz
SCSI Hard drive: 80 GB
DRAM: 1 GB
Flat panel LCD display
Keyboard & trackball
Multi layer film capacity
Micro spot optics
Scanning stage
Wafer mapping
In-situ capability
Controller type: PC / VME
Operator manual
DBS Spot sizes: 2.7, 10, 40 um
XENON Light source
Wavelength range: 220 nm to 800 nm.
KLA/TENCOR ASET F5x ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für eine fortschrittliche Prozesssteuerung in einer Vielzahl von Branchen entwickelt wurde, einschließlich Halbleiter-, Speicher-, Datenspeicher-, optoelektronischen, Anzeige- und Photomasken-Industrien. Das System bietet eine hohe Präzision und Wiederholbarkeit für Wafertests und Messtechnik und ermöglicht eine automatisierte Fehlerinspektion und -analyse. Die F5x Einheit integriert 360 ° berührungslose, Vision-basierte Messtechnik und Testlösungen, darunter: optischer Fokus/Defokus, Oberflächenrauhigkeit, spektrale Reflexion, CD/Breite, Overlay, undurchsichtiger Maskendefekt, geätzte Stufenhöhe und Materialanalyse. Fortschrittliche digitale Optik, Präzisionsoptik, Bewegungsplatten, Strahlkombinatoren, Mustererkennungstechnologie und Bildanalysetechniken werden verwendet, um eine genaue Analyse von Probenwafern zu ermöglichen. Darüber hinaus ist die Maschine mit der neuesten SPCS-Technologie (Semiconductor Production Control Tool) und Röntgen-Technologie ausgestattet, die eine präzise Echtzeitmessung und -steuerung sowie eine vollautomatisierte Mustererkennung und Fehlerkorrektur bietet. Dies hilft, die Fehlererkennung zu maximieren und Fehlalarme zu minimieren. Die KLA- ASET-F5X eignet sich für die Prüfung und Messtechnik mit hoher Geschwindigkeit, Wiederholbarkeit und geringen Betriebskosten. Seine intuitive Benutzeroberfläche kann auf die betrieblichen Anforderungen zugeschnitten werden und unterstützt eine Vielzahl von Sprachen, darunter Englisch, Japanisch, Koreanisch, Chinesisch und Deutsch. Die erstklassige Leistung und Robustheit der Anlage unterstützt nachweislich eine Vielzahl von messtechnischen Anwendungen und Anforderungen an die Qualitätskontrolle. Dies hilft Kunden, die höchste Prozesskontrolle zu gewährleisten, die Produktqualität zu gewährleisten und eine stabile Produktionsumgebung zu bieten.
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