Gebraucht KLA / TENCOR ASET F5x #9240202 zu verkaufen
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ID: 9240202
Wafergröße: 8"
Film thickness measurement system, 8"
Open cassette, 8"
Spectroscopic ellipsometer
Dual-beam spectrometer (DBS)
Xenon light source: Wavelength range 220 nm to 800 nm
DBS Spot sizes: 2.7 um, 10 um, 40 um
Pattern recognition (PatMax)
2.8-GHz Pentium-IV Star bright computer
Hard drive: 80-Gb IDE
DDR RAM: 512-Mb
Ethernet PCIA card: 10 Base-T and 10 Base-100 communications protocol
Operating system: Windows XP
Flat-panel display: 17-inch color LCD
Keyboard and trackball
DVD / RW Drive and Floppy disk drive, 3.5"
DVDR / RW Blank diskette
Start-up kit
Modular wafer handler
With dual open cassette back of cabinet
Standard SE
Pattern recognition patmax
Platen single finger, 200 / 300
P4 Computer, 2.8 GHz
PCA, Matrox orion, Frame Grab, PCI
220 V, 50/60 Hz.
KLA/TENCOR ASET F5x ist eine leistungsstarke Wafer-Prüf- und Messtechnik, die speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es bietet eine Vielzahl von Funktionen zur genauen und zuverlässigen Messung, Verarbeitung und Charakterisierung von Wafern. Das System besteht aus einer modularen Wafer-Station, Waferhandler, Desktop-Prozessor und Display. Die Waferstation der KLA ASET-F5X ist ein automatisiertes Wafer-Handling mit hoher Haftung an Prozessrezepten. Es ist entworfen, um mehrere Wafergrößen zu handhaben, so dass es leicht für eine Vielzahl von Produktionsverfahren angepasst werden kann. Die Maschine kann auch aus der Ferne zugegriffen werden, so dass es ideal für die Remote-Prozesssteuerung. Die einzigartige Waferhandler-Funktion ermöglicht das schnelle Be- und Entladen von Wafern. Dadurch kann das Werkzeug schnell arbeiten und maximiert den Durchsatz und die Genauigkeit. Diese Funktion ermöglicht es dem Benutzer auch, aus einer Vielzahl von automatisierten oder manuellen Wafer-Handhabungsoptionen zu wählen. Darüber hinaus ist das Asset in der Lage, Daten von den Waferoberflächen bis zu einer Dicke von 6 mm zu sammeln. Der Desktop-Prozessor bietet dem Benutzer eine intuitive Benutzeroberfläche und Verarbeitungsleistung, um die gesammelten Daten zu analysieren. Dieser Prozessor verfügt über eine integrierte grafische Benutzeroberfläche (GUI), die eine benutzerfreundliche und benutzerfreundliche Umgebung für die Datenverwaltung bietet. Die integrierte modulare Architektur zur Datenerfassung und Datenanalyse nutzt High-End-Signalverarbeitungstechniken, um eine hochpräzise Waferanalyse zu erreichen. Das Display von TENCOR ASET F 5 X bietet dem Anwender ein breites Sichtfeld. Dadurch kann der Anwender den Wafer-Prüf- und Messtechnik-Prozess schnell überwachen, indem er eine Live-Ansicht der Prozessmessungen anzeigt. Das Display verfügt außerdem über eine optionale Touchscreen-Funktion, die mehr Kontrolle und Flexibilität bei der Schnittstelle mit den Menüs und Einstellungen des Modells ermöglicht. TENCOR ASET F5x ist eine umfassende Prüf- und Messtechnik für Wafer, die Präzision und Leistung mit Benutzerfreundlichkeit kombiniert. Mit seiner modularen Architektur, der Benutzerfreundlichkeit und dem breiten Spektrum an Wafer-Handhabungsfunktionen ist ASET F5x eine ausgezeichnete Wahl für Halbleiterproduktionsprozesse.
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