Gebraucht KLA / TENCOR ASET F5x #9251592 zu verkaufen

KLA / TENCOR ASET F5x
ID: 9251592
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2001
Film thickness measurement system, 12" 2001 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5x ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die sich am besten für eine Vielzahl von Anwendungen eignet, wie Fehleranalyse, Ausbeute-Management, Fehlerüberwachung, Gerätecharakterisierung, Halbleiterbauelemententwicklung und Prozessüberwachung. KLA ASET-F5X ist in der Lage, Messungen an allen Schichten integrierter Schaltungen bis zu 10 Nanometer durchzuführen. Es wurde entwickelt, um vielseitige, anspruchsvolle Fähigkeiten und schnelle Konvergenz kritischer Messungen in den heutigen komplexen Konstruktionen zu bieten, von komplexen Geometrien mit hohen Seitenverhältnissen bis zu den kompliziertesten Merkmalen. Das System verwendet eine hochauflösende Bildaufnahmeeinheit zur Inspektion und Messung von Merkmalen, die mit einer hochgenauen 3D-Stufe für die Positionierung und Abtastung von Wafern verbunden ist. Zusätzlich kann eine elektrische Sondenstation für elektrische Messungen angeschlossen werden. Um die zuverlässigsten Daten vom Prüfling zu erhalten, ist TENCOR ASET F 5 X mit einer hochmodernen Optikmaschine ausgestattet. Dieses Tool bietet hochauflösende Bildgebung mit größerer Schärfentiefe, verbessertem Kontrast und verbesserter Auflösung von Kanten, Seitenwänden und kritischen Merkmalen. Diese erweiterte Optik-Komponente ist mit Aktivierungstechnologien wie fortschrittlichen Farbbildgebungstechniken, Pulsanregungstechniken und Algorithmen zur Farbverbesserung gekoppelt. Darüber hinaus verwendet KLA/TENCOR ASET-F5X Bildverarbeitungs- und Messsoftware, um Ergebnisse wie Größe und Form, Funktionskontrast sowie fehlerhafte oder fehlende Partikel, Beulen und andere Details schnell zu analysieren und zu berichten. Das Modell verfügt außerdem über ein integriertes Automatisierungsgerüst, das darauf ausgelegt ist, manuelle Eingriffe zu minimieren und gleichzeitig Effizienz und Genauigkeit zu maximieren. Mit diesem Framework können Benutzer automatisierte Waferinspektionsszenarien und -messungen erstellen, speichern und ausführen. Diese Szenarien können sogar um kundenspezifische Messungen spezifischer Merkmale erweitert werden. Darüber hinaus verfügt KLA ASET F 5 X über eine vollständige Umweltkontrolle. Dazu gehören Temperaturregelung, Feuchtigkeitsregelung und Lichtsteuerung für den Wafer Tisch und bildgebende Komponenten, um die Genauigkeit der Ergebnisse zu gewährleisten. Insgesamt ist KLA ASET F5x eine fortschrittliche, anspruchsvolle Ausrüstung, die es Unternehmen und Organisationen ermöglicht, komplexe integrierte Schaltungsdesigns vollständig zu analysieren, zu inspizieren und zu messen. Es bietet eine Reihe von Funktionen und Fähigkeiten, die ideal für den Einsatz in der Fehleranalyse, Ertragsverwaltung, Fehlerkontrolle, Gerätecharakterisierung und Halbleiterbauelemententwicklung und Prozessüberwachung sind.
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