Gebraucht KLA / TENCOR ASET F5x #9254566 zu verkaufen
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ID: 9254566
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
Film thickness measurement system, 8"
Cassette interface:
Open handler with (2) open cassette stations
PRI / EQUIPE Wafer handling robot with dual end actuator
BROOKS PRE-300B-CE Pre aligner
Main tool:
Spectroscopic Ellipsometer (SE)
Xe Xenon light source
D2 Lamp
Controller type: PC
Computer
Floppy drive: 3.5" (1.44 MB)
Castle wood drive: 2.2 GB
Color VGA monitor
Keyboard / Trackball
Facility requirements:
CDA
Vacuum
Power supply: 208 VAC, 8.5 A, Single phase, 3-Wire, 50/60 Hz
CE Marked
2001 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5x ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für messtechnische und Fehlerüberprüfungsanwendungen. Es erhöht die Leistung der kritischen Fehlererkennung mit dem neuesten und fortschrittlichsten Erkennungssystem. Das Gerät wurde entwickelt, um kritische und komplexe Anforderungen an eine umfassende Fehlererkennung und verbesserte Ausbeute zu erfüllen. Es wurde auch entwickelt, um eine breitere Palette von automatisierten Wafertests, Messtechnik und Fehlerüberprüfungsfunktionen bereitzustellen. Die Maschine ist mit einer sequentiellen Scantechnologie ausgestattet und integriert sich nahtlos in Fehlerinspektions- und Tune-up-Werkzeuge. Die integrierte Technologie verbessert die Prozessleistung und reduziert die Durchlaufzeit. Es verfügt über einen integrierten aktiven optischen Sensor (AOS) zur Erfassung der anspruchsvollsten Defektfunktionen mit deutlich höherer Auflösung und größerer Durchsatzgeschwindigkeit als Alternativen. Die KLA ASET-F5X wurde entwickelt, um die Softwarefunktionen bestehender und geplanter KLA/TECON-Bildgebungssysteme zu verbessern. Es integriert sich auch nahtlos mit vorhandenen Geräten, bietet automatische Paketanalysator, Paket Stress Messung, Foto-Gesichtsbildgebung, Überholung, und eine breite Palette von erweiterten Schlitzen Operationen. Es kommt mit einem automatisierten optischen Inspektionswerkzeug für Wafer und Photoresist Inspektion. Es wurde entwickelt, um sich mit einer Vielzahl von Optik- und Subsystemen zu verbinden, sodass Benutzer ihre aktuellen und zukünftigen Test- und Messtechnikprozesse konfigurieren, anpassen und automatisieren können. Das Asset unterstützt auch mehrere Software-Tools, einschließlich TENCOR Echtzeit-Prozessüberwachung, KLA/TENCOR Auto Focus, KLA Flow-basierte Fehlererkennung und vieles mehr. Das Modell TENCOR ASET F 5 X bietet eine Komplettlösung für Test-, Messtechnik- und Fehlerüberprüfungsanwendungen. Mit fortschrittlicher Erkennungstechnologie und hohen Durchsatzgeschwindigkeiten ist die Ausrüstung für High-End-Messtechnik und Fehlerüberprüfungsanwendungen konzipiert. Es bietet eine breite Palette von automatisierten Wafertests, Messtechnik und Fehlerüberprüfungsfunktionen. Das System arbeitet mit allen aktuellen und zukünftigen Generationen von bildgebenden, inspizierenden und messtechnischen Systemen zusammen. Es wurde entwickelt, um die Leistung der kritischen Fehlererkennung zu erhöhen und die Durchlaufzeit zu reduzieren.
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