Gebraucht KLA / TENCOR ASET F5x #9263174 zu verkaufen

KLA/TENCOR ASET F5x ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik, die optische und akustische Technologien der nächsten Generation für umfassende, schnelle, zuverlässige und kostengünstige Tests und Inspektionen von Halbleiterscheiben verwendet. Dieses System bietet ein breites Spektrum an automatisierten Fehlerinspektions- und messtechnischen Möglichkeiten sowie Unterstützung für mehrere Wafergeometrien und Prozesseinstellungen zur schnellen Erkennung und Messung von Fehlern am Wafer. KLA ASET-F5X verwendet fortschrittliche optische und akustische Technologien wie Laserstreuung, Streuung und optische Kontrastbildgebung (OCI), um hochauflösende und wiederholbare Ergebnisse für kritische Anwendungen wie LER (Line Edge Roughness), Linienbreite und Overlay-Messungen zu liefern. Das Gerät ist mit mehreren Kameras ausgestattet, um hochauflösende Bilder des Wafers und seiner verarbeiteten Schicht sowohl in optischen Rückseiten- als auch in Frontseite-Abbildungsmodi zu erfassen, und Mikroskopinspektion für hochauflösende Bilder einzelner Merkmale und Defekte. Die Maschine ist auch in der Lage, eine Vielzahl von Defekten und prozessbezogenen Eigenschaften mit außergewöhnlicher Geschwindigkeit und Präzision zu erkennen. Dies wird durch ausgeklügelte Algorithmen erreicht, die Partikel, Schlupf, Brüche, Gruben, Hügel, Keile und mehr identifizieren können. Das Tool beinhaltet auch einen Deep-Learning-basierten automatisierten Defektklassifizierer, der anomale Muster und strukturelle Defekte genau identifizieren kann und eine zuverlässige Rückmeldung zur Prozesskontrolle ermöglicht. Darüber hinaus unterstützt TENCOR ASET F 5 X eine Vielzahl von messtechnischen Anwendungen, wie rückverfolgbare dimensionale Messungen, stochastische Streuung Bildgebung, Mapping von Full-Chip Areal Scan und Messtechnik von kritischen Prozessparametern. Die Anlage verfügt über integrierte Wafer-Puffer und Roboter-Wafer-Handling, so dass es mehrere Läufe von High-Speed-Inspektion und Messtechnik parallel laufen. Dies gewährleistet eine zeitnahe und genaue Datenerfassung und -auswertung. KLA/TENCOR ASET-F5X ist ein leistungsstarkes und vielseitiges Werkzeug für Wafertests und Messtechnik. Es bietet hohe Genauigkeit, Geschwindigkeit und Wiederholbarkeit in einer Vielzahl von Anwendungen und bietet gleichzeitig zuverlässigen Zugriff auf Rückmeldungen zur Prozesssteuerung für optimierten Ertrag. Das Modell wird auch durch umfassenden technischen Support und Anwendungstechnik unterstützt, um Anwender bei ihren spezifischen Anforderungen zu unterstützen.